分析現(xiàn)有光學真空鍍膜機比較片機構(gòu)在使用過程中存在的問題。根據(jù)現(xiàn)代光學真空鍍膜機的發(fā)展趨勢和實際生產(chǎn)中急需解決的問題，通過多方面的研究分析，優(yōu)化設(shè)計新一代的鍍膜機比較片結(jié)構(gòu)，解決影響光學薄膜質(zhì)量和超多層精密光學薄膜鍍制的問題，以提高薄膜的監(jiān)控精度，實現(xiàn)系統(tǒng)的自動控制，提高光學真空鍍膜機生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。使現(xiàn)代光學真空鍍膜機的結(jié)構(gòu)配置及使用效果達到最佳。

　　從上世紀八十年代以來，全球光電科學技術(shù)發(fā)展與進步迅猛，我國研發(fā)光學真空鍍膜機設(shè)備，在引進消化吸收的基礎(chǔ)上，也迅速發(fā)展起來。最近二十多年，我國逐漸成為全球光學產(chǎn)品的加工基地，作為光學產(chǎn)品的關(guān)鍵工序，也是最后一道工序-- 鍍膜，要求越來越高，真空鍍膜機性能和配置也必然要得到加強，提高設(shè)備質(zhì)量、完善設(shè)備性能、提高生產(chǎn)效率等問題就顯現(xiàn)出來，這就涉及到此類設(shè)備的改造、設(shè)計研發(fā)，要求相關(guān)技術(shù)人員去解決。

　　真空鍍膜機比較片機構(gòu)就是該類設(shè)備的必不可少的關(guān)鍵部件，高端配置的設(shè)備對比較片機構(gòu)要求越來越高，真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.mp99x.cn/)認為它對鍍制多膜層的檢測和生產(chǎn)效率有著重要的不可替代的作用。下面就真空鍍膜機比較片機構(gòu)在使用中的出現(xiàn)的問題，以及優(yōu)化創(chuàng)新設(shè)計后的結(jié)構(gòu)進行對比分析。

1、現(xiàn)有真空鍍膜機比較片機構(gòu)

　　1.1、通用的鍍膜機比較片結(jié)構(gòu)

　　國內(nèi)低端的真空鍍膜機，從發(fā)展之初到近10年左右，大多還沿用的該比較片結(jié)構(gòu)，如圖1 所示。此比較片換位機構(gòu)，通常由6 個獨立的直徑Φ22mm 的比較片組成，如圖1(b)。該機構(gòu)主要由1 個托盤16、三個支撐桿110 及1 個比較片盤18 組成，如圖1(a)，三個支撐桿110 對托盤16起固定、支撐的作用，比較片盤18 靠齒輪嚙合把運動輸入使之旋轉(zhuǎn)撥片，三者配合就完成撥片換位動作。由于一般的鍍膜機真空室直徑尺寸都不大，整個機構(gòu)的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大，導致工件盤上可裝載的鍍制工件面積比較小，并且該機構(gòu)只可放置6 個比較片13，直接影響生產(chǎn)效率。

　　該結(jié)構(gòu)的特點是：結(jié)構(gòu)簡單，加工制造方便，安裝實施方便易行。缺點：該結(jié)構(gòu)直徑面積比較大，影響裝載工件的數(shù)量；比價片放置數(shù)量少，降低了生產(chǎn)效率；強度和剛度有限，又由于該結(jié)構(gòu)完全暴露在真空室內(nèi)，真空室內(nèi)高溫濺射磨料的影響，使轉(zhuǎn)動平穩(wěn)性、靈活性一般，傳動位置重復的一致性誤差較大，清洗維護頻繁。

圖1 通用的鍍膜機比較片結(jié)構(gòu)

　　1.2、改進后的鍍膜機比較片結(jié)構(gòu)

　　根據(jù)現(xiàn)有比較片結(jié)構(gòu)在使用過程中暴露出的問題，對原有通用鍍膜機比較片結(jié)構(gòu)進行多次的改進，形成以下的結(jié)構(gòu)，如圖2(a)、(b)所示。通過設(shè)計可重疊放置比較片存儲筒，使比較片機構(gòu)直徑所占面積減小，但放置的比較片數(shù)量增加到20 片左右， 整個機構(gòu)直徑縮小為Φ89mm。結(jié)果可增加較小工件鍍膜盤上裝載工件的數(shù)量，提高生產(chǎn)效率，還可以提高薄膜監(jiān)控的精度，并降低對硬件系統(tǒng)的要求，容易實現(xiàn)對系統(tǒng)的自動控制。

　　具體動作實施，改進后多片比較片機構(gòu)的轉(zhuǎn)動，通過連接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上，比較片機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)運動，由旋轉(zhuǎn)密封軸把運動輸入真空室內(nèi)的大齒輪，帶動小齒輪所在傳動軸24 的轉(zhuǎn)動，最終實現(xiàn)整個比較片機構(gòu)的轉(zhuǎn)動。比較片切換比較片時，通過撥盤29 轉(zhuǎn)動一個工位，比較片存儲筒219 內(nèi)落下一個比較片，到達預設(shè)的位置，同時，切換的比較片隨著工位轉(zhuǎn)動落在比較片接受筒212 內(nèi)，每切換一次，撥動一個工位。其中，傳動軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座組成的傳動機構(gòu)來完成撥盤轉(zhuǎn)動。

　　其特點是：(1)減小比較片機構(gòu)直徑的面積，提高裝載鍍制工件的數(shù)量；(2) 增加比較片的數(shù)量，提高生產(chǎn)效率，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制。缺點：該比較片結(jié)構(gòu)直徑小而長(Φ89×370)，影響其使用的強度和剛度；由于該結(jié)構(gòu)暴露在高溫濺射磨料的真空室內(nèi)，影響其轉(zhuǎn)動平穩(wěn)性、靈活性，且轉(zhuǎn)動位置重復的一致性較差，維護清洗頻繁費工。

2、鍍膜機比較片優(yōu)化設(shè)計機構(gòu)

　　在真空鍍膜機發(fā)展過程中，真空鍍膜機比較片在光學鍍膜機中擔負著裝載比較片的功能。比較片裝載數(shù)量少，限制光學薄膜的鍍制層數(shù)；比較片有效面積小，光路調(diào)整不方便，光信號的信噪比差，嚴重影響光學薄膜的質(zhì)量。根據(jù)現(xiàn)在鍍膜產(chǎn)品的要求，現(xiàn)有的真空鍍膜機比較片機構(gòu)，已不能滿足現(xiàn)代光學30 層以上精密光學薄膜的鍍膜要求。為解決現(xiàn)有技術(shù)上存在的缺陷，綜合以上兩種比較片結(jié)構(gòu)優(yōu)缺點和新產(chǎn)品鍍膜的要求，創(chuàng)新、優(yōu)化設(shè)計新一代的比較片機構(gòu)，該裝置要滿足：結(jié)構(gòu)簡單；比較片裝載方便；重復定位性好；可靠性高；制造成本低等特點。

　　真空鍍膜機多片式比較片裝置，有比較片裝載換位機構(gòu)、轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)和換位驅(qū)動機構(gòu)，如圖3 所示。

　　換位驅(qū)動機構(gòu)固定在鍍膜機箱體頂板4 上，由電機9、主動齒輪8、從動齒輪7、和定位盤6 組成，其中從動齒輪7 和定位盤6 固定在軸1 上，定位盤6 上有3 個均分的狹縫，槽型光藕17 在狹縫處接受光信號，控制電機的旋轉(zhuǎn)和停止。

　　轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)由威爾遜密封機構(gòu)5 和軸承座2 組成，軸承座2 外側(cè)套裝有固定筒3，固定在鍍膜機箱體頂板4 上。裝載換位機構(gòu)由撥動盤15、支承盤16、上盤14 和比較片存儲筒13 組成。撥動盤15 連接的撥動軸11，通過聯(lián)軸器10 和密封饋入機構(gòu)的軸1連接。

圖2 改進后的比較片結(jié)構(gòu)　圖3 比較片優(yōu)化設(shè)計結(jié)構(gòu)

　　真空鍍膜機多片式比較片裝置的設(shè)計特點：

　　1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤15 轉(zhuǎn)動的靈活性。

　　2)圓形軸承座2 的設(shè)計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸1 的直徑尺寸，加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉(zhuǎn)動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復的一致性。

　　3)裝載換位機構(gòu)，通過擴大支承盤16 的直徑，使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學薄膜質(zhì)量；比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

　　4)定位盤6 與槽型光藕17 的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1 旋轉(zhuǎn)定位重復的一致性得到保證，帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。

　　5) 轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)5，既保證電機9 通過齒輪嚙合帶動軸1 的靈活轉(zhuǎn)動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，其特點：(1)結(jié)構(gòu)簡單，強度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；(4)維護保養(yǎng)費用低。

3、結(jié)論

　　通過對真空鍍膜機多片式比較片裝置的優(yōu)化設(shè)計，保證了比較片機構(gòu)撥片轉(zhuǎn)動的靈活性和重復的一致性，解決了比較片有效面積小，光路調(diào)整不方便，光信號信噪比差的問題，又解決了比較片裝載數(shù)量少的問題，可以使現(xiàn)有的真空鍍膜機鍍制光學薄膜的質(zhì)量大大提高，并且30 層以上的光學薄膜得以鍍制完成。實踐證明此比較片結(jié)構(gòu)是有用的，可以在現(xiàn)代的光學真空鍍膜行業(yè)進行推廣和實施，真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.mp99x.cn/)認為對社會帶來和產(chǎn)生更大的經(jīng)濟效益。