玻璃型鍍鋁二次表面鏡的制備及其評價試驗研究

趙印中 許 旻 李 林 王潔冰 吳春華 左華平

蘭州空間技術(shù)物理研究所表面工程技術(shù)重點實驗室

　　摘要：介紹了蘭州空間技術(shù)物理研究所鍍鋁OSR 的制備以及及其部分評價試驗情況。通過調(diào)整濺射功率、濺射氣氛、沉積時間以及離子束清洗的時間等參數(shù)，結(jié)合樣品的性能測試，研究了濺射功率、濺射氣氛、沉積時間以及離子束清洗制備等工藝參數(shù)對鍍鋁OSR 產(chǎn)品性能的影響規(guī)律，從而優(yōu)化選擇出了合適的鍍鋁OSR 反射膜制備工藝參數(shù);然后結(jié)合成熟的基片清洗工藝、ITO 膜制備工藝、保護膜制備工藝以及性能檢測技術(shù)，最后確定了合適的鍍鋁OSR的制備工藝。

　　隨后對制備的OSR 樣片先后進行了光學(xué)性能測試、電學(xué)性能測試、熱學(xué)性能測試，又進行了附著力測試試驗、水溶性、耐清洗、濕熱老化等環(huán)境評價試驗。結(jié)果表明，制備的鍍鋁OSR 太陽吸收率在0.112～0.123 之間，其光學(xué)性能、熱學(xué)性能、電學(xué)性能及其環(huán)境穩(wěn)定性能等技術(shù)指標(biāo)，均可以滿足其空間應(yīng)用的設(shè)計要求。

　　關(guān)鍵詞：鍍鋁OSR 制備 評價試驗