標(biāo)準(zhǔn)編號:  JB/T 2965-1992
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:  濺射離子泵 性能測試方法
代替標(biāo)準(zhǔn)號:  JB 2965-81,
標(biāo)準(zhǔn)簡介:
JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法規(guī)定了濺射離子泵性能測試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于抽速大于10LS(-1)的離子泵。
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號:  機(jī)械>>通用機(jī)械與設(shè)備>>j78真空技術(shù)與設(shè)備
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):  現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)關(guān)注次數(shù):  35次
標(biāo)準(zhǔn)上傳日期:  2010-9-18
發(fā)布日期:  1992-01-01
實(shí)施日期:  1992-01-01
標(biāo)準(zhǔn)類別:  機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù):  6 頁
歸口單位:  沈陽真空技術(shù)研究所
文件格式:  PDF格式

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　　JB/T 2965-1992 濺射離子泵 性能測試方法