JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)

2012-05-10 全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):  JB/T 4081-1991
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:  濺射離子泵 型式與基本參數(shù)
代替標(biāo)準(zhǔn)號(hào):  JB4081-85,
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:
JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)規(guī)定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào):  J78

標(biāo)準(zhǔn)關(guān)注次數(shù):  39次
標(biāo)準(zhǔn)上傳日期:  2010-1-9
發(fā)布日期:  91-07-22
實(shí)施日期:  92-07-01
標(biāo)準(zhǔn)類別:  機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù):  
歸口單位:  沈陽真空技術(shù)所
起草人:  馮玉國
起草單位:  機(jī)械電子工業(yè)部沈陽真空技術(shù)研究所
文件格式:  PDF格式

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