JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào): JB/T 4081-1991
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱: 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)
代替標(biāo)準(zhǔn)號(hào): JB4081-85,
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:
JB/T 4081-1991 濺射離子泵 型式與基本參數(shù)規(guī)定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數(shù)。本標(biāo)準(zhǔn)適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào): J78
標(biāo)準(zhǔn)關(guān)注次數(shù): 39次
標(biāo)準(zhǔn)上傳日期: 2010-1-9
發(fā)布日期: 91-07-22
實(shí)施日期: 92-07-01
標(biāo)準(zhǔn)類別: 機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù):
歸口單位: 沈陽真空技術(shù)所
起草人: 馮玉國
起草單位: 機(jī)械電子工業(yè)部沈陽真空技術(shù)研究所
文件格式: PDF格式
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