半導體工業(yè)在硅片加工過程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳氫化合物油(Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。

       碳氫化合物油極易燃燒，化學結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而導致真空泵出現(xiàn)故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機維修時間的增加，而影響生產(chǎn)效率。而且，碳氫化合物油的可燃性也導致安全隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對于環(huán)保方面是非常不利的。總之，許多方面均會導致運行成本的上升。

       全氟聚醚油(PFPE) 分子鏈飽和，不含氫元素，化學性能特別穩(wěn)定，抗強氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強酸、強堿等化學物質(zhì)，高溫性能穩(wěn)定，并具有極低的蒸發(fā)速率和良好的潤滑性能。不僅安全， 且使用壽命長。

        半導體工業(yè)在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵具有非常優(yōu)越的適應性，PFPE因其優(yōu)異性能而得到廣泛使用。尤其在消除火災或爆炸的危險隱患等方面更是性能卓越。世界著名的真空泵制造商， 如萊寶(LeyBold) 愛德華(Edwards)均使用PFPE 油作為其真空泵的介質(zhì)，以保證其真空設備在特殊環(huán)境中繼續(xù)保持優(yōu)良的性能。

        因此，PFPE 是半導體工業(yè)真空泵油的最佳選擇，能夠完全滿足半導體工業(yè)中安全性、可靠性以及環(huán)保等要求。

       美國杜邦公司KRYTOXb系列產(chǎn)品最初的研發(fā)是起源于航天計劃，比如阿波羅登月計劃的導航系統(tǒng)用的潤滑劑，并首獲成功。隨后應全世界半導體工業(yè)的需求，杜邦公司KRYTOXbVPF 系列產(chǎn)品得到所有主要真空泵制造商如LeyBold,Edwards，Ebara 等的認可，均符合或超過所有主要泵制造商有關(guān)品質(zhì)擔保的要求。杜邦KRYTOXb具體性能如下：

        ◆ 化學穩(wěn)定性：KRYTOXbVPF 化學性能非常穩(wěn)定，耐強酸,包括極強的路易氏酸，耐強堿。性能非常穩(wěn)定， 與接觸的任何特種氣體如氟氣，SiH4 等，強腐蝕性物質(zhì)，強氧化劑，還原劑等均不發(fā)生反應；

        ◆ 不燃燒性：KRYTOXb分子結(jié)構(gòu)中不含氫元素，耐氧化，不會燃燒， 無閃點，無燃點，可避免任何火災的隱患，達到半導體行業(yè)安全性的要求；

        ◆ 熱穩(wěn)定性：極低的蒸發(fā)率和降解率，能夠避免任何殘留物的形成而影響半導體工業(yè)中反應室的純凈度及高真空度的維持；

        ◆ 卓越的潤滑性能：尤其在比較寬的操作溫度范圍，在高負載，高壓強的情況下，KRYTOXb均具有良好的潤滑性能，能夠減少磨耗，尤其對于真空泵及壓縮機等設備維持優(yōu)良的運行性能等等非常重要；

        ◆ 粘度和蒸氣指標穩(wěn)定可靠: 能夠保持極低的回流率，從而能夠持續(xù)地保證系統(tǒng)的高真空度。

        綜上所述，杜邦全氟聚醚產(chǎn)品-KRYTOXb VPF真空泵油完全能夠滿足半導體工業(yè)的要求，尤其是針對半導體芯片加工過程中如刻蝕劑和沉淀過程中所面臨的特殊氣體，強腐蝕性化學物質(zhì)，均能保證其操作的安全與可靠。

        注：本文系杜邦中國集團有限公司委托發(fā)布的產(chǎn)品軟文。具體產(chǎn)品信息請致電杜邦公司。