密封器件壓氦和預(yù)充氦細(xì)檢漏候檢環(huán)境氦分壓的影響

薛大同¹ 肖祥正¹ 王庚林²

(1.蘭州空間技術(shù)物理研究所真空低溫技術(shù)與物理國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;2. 北京市科通電子繼電器總廠)

　　摘要：密封器件的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏技術(shù)分壓氦法(即背壓法)和預(yù)充氦法兩種。地球干潔大氣中含有少量氦氣;壓氦時(shí)通常會(huì)產(chǎn)生檢漏用氦氣對環(huán)境大氣的污染，使環(huán)境氦分壓超過地球干潔大氣中的氦分壓。本文分別推導(dǎo)和分析了壓氦法候檢環(huán)境大氣中氦分壓的影響和預(yù)充氦法地球干潔大氣中氦分壓的影響。

　　對于壓氦法，在任務(wù)允許的最大標(biāo)準(zhǔn)漏率不超過1.4Pa×cm3/s，最小測量漏率小到1*10^-6 Pa×cm³/s，候檢時(shí)間不超過最長候檢時(shí)間，密封器件的內(nèi)腔有效容積不超過10² cm³ 量級的情況下，不需要考慮地球干潔大氣中氦分壓的影響，但是如果候檢環(huán)境大氣中氦分壓顯著超過地球干潔大氣中的氦分壓，就可能加大測量漏率值。等效標(biāo)準(zhǔn)漏率越小，且密封器件內(nèi)腔的有效容積越大，誤差會(huì)越大。所以，不僅氦質(zhì)譜檢漏儀房間應(yīng)有通風(fēng)設(shè)備，與壓氦設(shè)備應(yīng)放置于不同房間，以防止氦氣泄漏影響，而且，壓氦結(jié)束后，被檢器件就應(yīng)盡快離開壓氦設(shè)備所在的房間。

　　對于預(yù)充氦法：

　　(1)地球干潔大氣中的氦分壓不影響測量漏率～等效標(biāo)準(zhǔn)漏率關(guān)系曲線極大值點(diǎn)和極大值，所以候檢時(shí)間的第二特征點(diǎn)不變；

　　(2)地球干潔大氣中的氦分壓會(huì)使測量漏率通過極大值后出現(xiàn)極小值，且當(dāng)候檢時(shí)間與內(nèi)腔有效容積之比大于100 h/cm³ 時(shí)，極小值點(diǎn)仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，所以需輔以壓氦法復(fù)檢，才能防止漏檢；

　　(3)地球干潔大氣中的氦分壓還會(huì)使候檢時(shí)間的第一特征點(diǎn)變大，即不考慮地球干潔大氣中氦分壓影響的候檢時(shí)間第一特征點(diǎn)理論值偏小，從而擴(kuò)大了需要輔以壓氦法復(fù)檢的范圍，即判據(jù)更嚴(yán)格而不是更寬松，因此不可能造成漏檢；

　　(4)地球干潔大氣中的氦分壓不影響“用壓氦法復(fù)檢時(shí)，為得到本征測量漏率，只需在顯示的測量漏率中扣除預(yù)充氦法所得測量漏率即可”的結(jié)論。