伯東公司德國(guó)Pfeiffer HLT 560 氦質(zhì)譜檢漏儀用于電磁閥閥芯檢漏應(yīng)用案例—深圳某事業(yè)有限公司

一、 電磁閥閥芯檢漏原因

　　該客戶是為日本某半導(dǎo)體設(shè)備廠生產(chǎn)精密零件激光焊接(電磁閥閥芯),一共有5個(gè)型號(hào),月產(chǎn)量2000-3000個(gè)閥. 精密零件激光焊接(電磁閥閥芯)產(chǎn)品如下圖:

　　由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如硅烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達(dá)到了.

二、 電磁閥閥芯檢漏方法

　　大概的檢測(cè)過程為:來料用放大鏡目視檢測(cè),激光焊接完成后再目視檢測(cè),最后用氦氣質(zhì)譜檢漏儀做最后檢測(cè),漏率值以氦氣檢漏儀測(cè)出的數(shù)據(jù)為準(zhǔn).

　　客戶以前用的是日本某品牌的檢漏儀,現(xiàn)在新上的項(xiàng)目都改為德國(guó)Pfeiffer的HLT 560這一款檢漏儀,這是因?yàn)?只有德國(guó)Pfeiffer的HLT 560能滿足這么高的漏率值測(cè)試,且數(shù)據(jù)可靠.另外還具有操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)效率高的優(yōu)點(diǎn).

三、電磁閥閥芯檢漏操作說明

　　1),先將閥接入工裝,形成一個(gè)密閉的腔體.再將檢漏儀連接到工裝上.

　　2),啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時(shí)顯示一個(gè)漏率值.

　　3),在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣,同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

　　4),如果漏率值上升,說明噴氦氣的地方有漏,該被檢對(duì)象質(zhì)量不合格.如果漏率值能達(dá)到要求,該被檢對(duì)象合格,檢漏檢測(cè)完成.

氦質(zhì)譜檢漏儀用于直通閥檢漏

一、閥門檢漏需求

　　閥門的密封性能是考核閥門質(zhì)量?jī)?yōu)劣的主要指標(biāo)之一. 所以在設(shè)計(jì)生產(chǎn)閥門時(shí)就要提高其密封性能, 并且在出廠前最后一道工序應(yīng)對(duì)閥門做密封性檢測(cè). 目前國(guó)內(nèi)許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進(jìn)行氣密性檢測(cè), 但是使用此方法只能檢到漏孔比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s. 但隨著客戶對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經(jīng)無法滿足要求. 為了保證產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng), 許多廠家引進(jìn)了氦氣檢漏儀, 對(duì)于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被公認(rèn)為最先進(jìn)可靠的方法之一.

　　而德國(guó)Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內(nèi)部模組化設(shè)計(jì)、檢測(cè)維修方便、使用簡(jiǎn)單、一鍵式操作等優(yōu)點(diǎn)受到廣大客戶的青睞.

　　上海閥特流體主要生產(chǎn)銷售各種自動(dòng)控制閥門, 部門產(chǎn)品出口到國(guó)外. 如下圖所示為該司生產(chǎn)的直通閥, 用于有毒氣體設(shè)備, 為了作業(yè)人員安全及避免環(huán)境污染, 客戶要求出廠前對(duì)閥門做氣密性檢測(cè).

　　Pfeiffer HLT 系列氦質(zhì)譜檢漏儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式, 真空模式 (vacuum mode)及正壓模式 (sniffer mode), 可根據(jù)客戶不同需求, 選擇不同的檢漏方法. 閥門多采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏, 其最小可檢查漏率為5X10-12 mbar l/s.

三、閥門檢漏操作

　　1. 如下圖所示, 工作人員用波紋管連接待檢測(cè)的直通閥與德國(guó)Pfeiffer HLT 560氦質(zhì)譜檢漏儀.

　　2. 啟動(dòng)DUO 旋片泵, 直通閥抽真空, 同時(shí)啟動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀并顯示一個(gè)漏率值. 當(dāng)旋片泵抽真空到達(dá)一定真空度(最高背壓為 25 mbar業(yè)界最高)時(shí), 可以進(jìn)行檢漏操作.

　　3. 如下圖工作人員向直通閥密封處和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時(shí)觀察檢漏儀上顯示的漏率值有無變化.

　　4. 如果漏率值上升, 說明噴氦氣的地方有漏, 該被檢對(duì)象質(zhì)量不合格. 如果漏率值能達(dá)到要求, 該被檢對(duì)象合格, 檢漏檢測(cè)完成.

投稿企業(yè)：

　　伯東公司 主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管);氦質(zhì)譜檢漏儀;質(zhì)譜分析儀;真空系統(tǒng)以及美國(guó)Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,Gamma離子泵.

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