1.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的工作氣路（圖1） 。

2.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀工作準(zhǔn)備過(guò)程（ 自動(dòng)內(nèi)部校準(zhǔn)）

        （1） 預(yù)抽。合上檢漏儀電源開(kāi)關(guān)，粗抽泵啟動(dòng)，循環(huán)指示按鈕的綠色指示燈閃亮。

        （2） 當(dāng)初壓力達(dá)到設(shè)定值（ 大約5s 后） ，P 指示燈亮，分子泵啟動(dòng)，分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)到正常轉(zhuǎn)速大約需要2～3min，當(dāng)分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)到正常轉(zhuǎn)速時(shí)，分子泵轉(zhuǎn)速指示OK 燈亮。同時(shí)，燈 絲啟動(dòng)，燈絲開(kāi)關(guān)指示燈閃亮大約8s 后， 指示燈亮， 燈絲點(diǎn)亮。

        （3） 檢漏儀自動(dòng)標(biāo)定。AUTOCAL 開(kāi)關(guān)紅色指示燈閃亮，如果沒(méi)有故障，幾秒鐘后綠色指示燈亮，內(nèi)部漏孔通大氣。表示檢漏儀自檢完成，可以工作了。

3.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏過(guò)程

        （1） 粗抽。按下遙控器上的循環(huán)啟動(dòng)按鈕，粗檢閥4 打開(kāi)，遙控器右側(cè)壓力顯示光柱下降。

        （2） 大漏檢測(cè)方式。如果按下粗檢按鈕，當(dāng)真空達(dá)到6×102MPa時(shí)，分子泵排氣口閥6 打開(kāi)，遙控器中間光柱顯示當(dāng)前漏率。

        （3） 細(xì)檢方式。如果不按下粗檢按鈕，當(dāng)真空達(dá)到2×10-4MPa 時(shí)，粗檢閥4 關(guān)閉，細(xì)檢閥5 打開(kāi)，遙控器左側(cè)光柱顯示當(dāng)前漏率。

4.ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室工作原理

         質(zhì)譜室工作原理（圖2） 。

         質(zhì)譜室是用來(lái)檢測(cè)氦的分壓強(qiáng)。當(dāng)質(zhì)譜室內(nèi)的總壓強(qiáng)（真空度） ＜10-6MPa 時(shí)，電離室中由鎢絲制成的燈絲啟動(dòng)，加熱后產(chǎn)生高速電子轟擊離子源中的氣體分子，使分子電離。大部分的氣體分子都能變成離子， 離子在電場(chǎng)中被（加速電壓） 加速，從而進(jìn)入與其垂直的偏轉(zhuǎn)磁場(chǎng)，不同質(zhì)量數(shù)的離子其偏轉(zhuǎn)半徑不同。加速電壓使得氦離子可以打到放大器的入口（電子倍增器） ，從而檢測(cè)出氦離子流的強(qiáng)度，氦離子流與容器內(nèi)的氦分壓成正比， 因此對(duì)氦離子的測(cè)量可以確定被檢件的漏率。