1、機械泵維護

         （1） 每月檢查機械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限時，須添加機械泵油；如果油呈棕色、褐色，或聞起來有異味，說明油已變質(zhì)。應(yīng)將油放盡后，暫時將放油塞擰上，讓泵在進氣口打開的狀態(tài)下運轉(zhuǎn)約10s， 將留在機械泵循環(huán)通路中的油也放出，再擰開放油塞，放出殘留的油。必要時，先用新油沖洗一遍，再加入新油。

         （2） 每3 個月更換機械泵油。檢查油霧過濾器，若被油浸透，應(yīng)更換。

2、離子源維護

         在對離子源作維護之前， 必須將檢漏儀的主電源插頭拔下。

         （1） 拆卸VHS放大器。將VHS放大器和離子源的電源接頭卸下， 用內(nèi)六角扳子擰下兩個緊固螺釘， 拆下VHS 放大器，將VHS 放大器頭朝下，放置在清潔處，注意防塵。

         （2） 清洗離子源底座。擰下6個螺釘，然后小心地把底座法蘭垂直地提起來，接著用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈專用模具將離子源開口蓋住。

         （3） 取下燈絲。拆下3 個緊固螺釘，取下燈絲。

         （4） 拆下收集極。只要將兩個緊固螺釘取下即可。

         （5） 換新燈絲和收集極。先將收集極用兩個緊固螺釘固定在離子源座上（ 不要將螺釘擰緊） 。接著將新燈絲的兩個接頭插入接線柱內(nèi)，此時不要擰緊兩個連接螺釘。

         （6） 部件的調(diào)整。燈絲織支撐架的兩個安裝面和其支撐座兩個安裝面緊貼上，擰緊緊固螺釘。調(diào)節(jié)收集極，使燈絲在左右方向位于收集極的中心（收集極開口兩邊應(yīng)有同樣的圈數(shù)） ;繼續(xù)調(diào)整收集極，使燈絲在垂直方向平行于收集極的開口，且處于開口的中央。擰緊收集極的兩個緊固螺釘。擰緊燈絲的兩個連接螺釘。

         （7） 安裝離子源和VHS放大器。仔細檢查離子源的導(dǎo)向塊上不要粘有其他物體，小心地將導(dǎo)向塊慢慢地放入質(zhì)譜室腔中，均勻擰緊6個螺釘即可。將VHS放大器仔細放在密封面上，均勻擰緊兩個螺釘。最后，將VHS放大器和離子源的電線連接好。VHS 放大器、離子源等部件，對任何形式的污染及灰塵都十分敏感，在維護過程中必須特別注意。

3、復(fù)合分子泵潤滑

        此維護過程每6個月進行一次。潤滑脂注入器上帶有一個黑色夾子和一個紅色夾子， 這些夾子是用來確定注入軸承的油脂用量的。

        （1） 潤滑前端軸承。將注入器插入螺釘孔，直到無法插入為止，按下注入器手柄直到其在夾子的紅色標記處停止。

        （2） 潤滑后端軸承。將紅色夾子取下，把油脂（紅色夾子寬度） 分別均勻地注入兩個注入孔（ 兩個對稱的通孔） 中。

        （3） 讓軸承中潤滑脂分布均勻。將分子泵電源板CD2 上的開關(guān)SW1 扳向“ R”位置，開機讓泵運轉(zhuǎn)約10min，然后關(guān)機。再將開關(guān)扳向“ N”位置。改變SW1 的位置時，均要求在不帶電的情況下進行。