正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的優(yōu)化設(shè)計(jì)

2009-09-05 馮焱 蘭州物理研究所

  針對(duì)目前正壓漏孔校準(zhǔn)工作中存在的測(cè)量下限指標(biāo)低、測(cè)量不確定度大等問題,提出了正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。采用特殊設(shè)計(jì),將定容室的容積減小到10mL以下,降低了氣體累計(jì)時(shí)間,延伸了測(cè)量下限。采用主、被動(dòng)相結(jié)合的恒溫方法提高恒溫精度,使得測(cè)量系統(tǒng)溫度變化在校準(zhǔn)時(shí)間內(nèi)小于0.02K,減小了溫度漂移引入的虛流量及測(cè)量不確定度。在恒壓法正壓漏孔校準(zhǔn)方法中,提出采用直徑小于1mm的精密細(xì)活塞及適用的動(dòng)密封結(jié)構(gòu),可以將測(cè)量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量級(jí)。通過以上方法,可使正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的測(cè)量下限優(yōu)于5×10-7Pa·m3/s,不確定度小于5%,同時(shí)具有較高的工作效率。

  正文:在國防和國民生產(chǎn)各領(lǐng)域,尤其是在型號(hào)和武器裝備的研制、試驗(yàn)、生產(chǎn)和使用的過程中,正壓檢漏技術(shù)發(fā)揮著越來越重要的作用,正壓漏孔作為正壓檢漏時(shí)的漏率標(biāo)準(zhǔn),其校準(zhǔn)精度也越來越受到人們的重視。

  目前我國正壓漏孔校準(zhǔn)工作還面臨以下問題:①不能對(duì)漏率值在10- 7Pa·m3/s 量級(jí)及以下的正壓漏孔進(jìn)行精確校準(zhǔn);② 校準(zhǔn)時(shí)間較長(zhǎng),一般情況下,校準(zhǔn)一支小漏率正壓漏孔需要7 天時(shí)間,校準(zhǔn)效率低;③測(cè)量不確定度大,校準(zhǔn)下限的測(cè)量不確定度在15%~30%左右。

  為此,本論文在定容式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的研究經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)上,利用目前正在研究和設(shè)計(jì)的恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的相關(guān)技術(shù),提出了對(duì)正壓漏孔校準(zhǔn)裝置進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)的思路和方法,而且這些設(shè)計(jì)方法對(duì)定容式和恒壓式校準(zhǔn)裝置都是適用的,以期進(jìn)一步提高我國正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的設(shè)計(jì)水平和校準(zhǔn)質(zhì)量。

1、校準(zhǔn)裝置原理及校準(zhǔn)方法

  校準(zhǔn)裝置由供氣和穩(wěn)壓系統(tǒng),抽氣系統(tǒng)、校準(zhǔn)系統(tǒng)、恒溫系統(tǒng)和測(cè)量與控制系統(tǒng)等五部分組成,圖1 為裝置原理圖,圖中虛線框內(nèi)的部分放置在恒溫箱中。校準(zhǔn)裝置既可采用定容法也可采用恒壓法來校準(zhǔn)正壓漏孔。

正壓漏孔校準(zhǔn)裝置原理圖

1,11,30. 電容薄膜規(guī)(CDG)  2,3,6,8,9,10,12,13,15,17,19,23,24,25閥門 4,5,7.氣瓶 14.分子泵 16,20.標(biāo)準(zhǔn)容積 18,29.定容室 21.電磁閥 22.正壓漏孔 26.機(jī)械泵 27. 伺服機(jī)構(gòu) 28.變?nèi)菔壹盎钊?/p>

圖1 校準(zhǔn)裝置原理圖

  供氣和穩(wěn)壓系統(tǒng)由高壓氣瓶、低壓氣瓶、閥門、電容薄膜規(guī)等組成,主要為正壓漏孔的入口端提供高于2個(gè)大氣壓的He氣,并為正壓漏孔的出口端提供100 kPa±5 kPa 的N2氣。抽氣系統(tǒng)由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥等組成,可以對(duì)供氣系統(tǒng)和校準(zhǔn)系統(tǒng)的管道、變?nèi)菔壹皟蓚(gè)標(biāo)準(zhǔn)容積抽真空,以滿足校準(zhǔn)要求。校準(zhǔn)系統(tǒng)由正壓漏孔、定容室、標(biāo)準(zhǔn)容積、電容薄模規(guī)、變?nèi)菔壹盎钊、電機(jī)等組成,整體放置在恒溫箱內(nèi)保持恒溫,是正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的核心部分,承擔(dān)著正壓漏孔的校準(zhǔn)任務(wù)。恒溫系統(tǒng)為內(nèi)外兩層恒溫箱組成,為校準(zhǔn)系統(tǒng)提供恒溫保障。測(cè)量與控制系統(tǒng)的由工控機(jī)、數(shù)據(jù)采集卡、熱電阻變送模塊、電機(jī)控制卡、伺服系統(tǒng)等組成,采用LABVIEW虛擬儀器工具開發(fā)測(cè)控軟件,完成平動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)控制、活塞運(yùn)動(dòng)速度及移動(dòng)距離的計(jì)算、電容薄膜規(guī)的數(shù)據(jù)采集、測(cè)量結(jié)果的自動(dòng)計(jì)算及保存等功能。校準(zhǔn)裝置可以采用定容法和兩種恒壓法(PID 控制、壓力微小波動(dòng)控制)來提供和測(cè)量流量,定容法的測(cè)量范圍是(5×10- 7~5×10- 3) Pa·m3/s,PID恒壓控制法的測(cè)量范圍為(1×10- 6~5×10- 5) Pa·m3/s,壓力微小波動(dòng)控制法的流量測(cè)量范圍為(4×10- 7~2×10- 5) Pa·m3/s,其測(cè)量下限的準(zhǔn)確性主要受到溫度變化的影響。

  關(guān)于校準(zhǔn)裝置的詳細(xì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、測(cè)量方法及測(cè)量范圍等考慮到真空技術(shù)網(wǎng)的有另文解說,這里就不再詳細(xì)介紹。

2、校準(zhǔn)裝置的優(yōu)化設(shè)計(jì)

  在總體設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,針對(duì)目前正壓漏孔校準(zhǔn)工作中存在的測(cè)量下限指標(biāo)低、測(cè)量不確定度大等問題,對(duì)正壓漏孔校準(zhǔn)裝置提出了優(yōu)化設(shè)計(jì)方法,這些方法也是正壓漏孔校準(zhǔn)裝置設(shè)計(jì)中應(yīng)考慮的核心問題,尤其值得關(guān)注。

2.1、定容室的優(yōu)化設(shè)計(jì)

  定容室的容積大小直接關(guān)系到氣體累計(jì)間的長(zhǎng)短,以及定容室壓力變化的快慢,是提高正壓校準(zhǔn)效率和測(cè)量下限的關(guān)鍵因素。根據(jù)理論計(jì)算和國外文獻(xiàn),定容室的容積應(yīng)小于10mL為佳, 如德國PTB 恒壓式正壓漏孔校準(zhǔn)裝置定容室為7.8mL。我站2000年研制的正壓漏孔校準(zhǔn)裝置定容室為33mL,定容法測(cè)量下限在10-6Pa·m3/s由于定容室要連接正壓漏孔,壓力測(cè)量?jī)x器(一般為差壓式電容薄膜規(guī)),充氣接口(為定容室充1個(gè)大氣壓N2氣),尤其是在恒壓法校準(zhǔn)時(shí)還要連接活塞及配套電機(jī),所以需要較大的外部安裝空間,這就與減小定容室的容積產(chǎn)生了矛盾,一般的做法是優(yōu)化管道設(shè)計(jì),減小連接管道的長(zhǎng)度。根據(jù)實(shí)際設(shè)計(jì)和計(jì)算,這種情況下定容室容積最小只能設(shè)計(jì)到15mL左右,而且還不含與正壓漏孔的連接容積以及電容薄膜規(guī)自身的管道容積,不能滿足要求。為此,我們提出了如下的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法,其結(jié)構(gòu)如圖2 所示:用不銹鋼制作外型為立方體的變?nèi)菔抑黧w,在變?nèi)菔抑黧w內(nèi)部開一個(gè)截面直徑小于2mm 的圓柱體孔,將用于安裝壓力計(jì)、正壓漏孔和活塞的連接管道按設(shè)計(jì)需求焊接在變?nèi)菔抑黧w上,且連接管道與圓柱體孔內(nèi)部連通,在電容薄膜規(guī)的管道及其它標(biāo)準(zhǔn)連接管道(內(nèi)徑4.3 mm)中放置直徑4mm的實(shí)心不銹鋼圓柱體進(jìn)一步降低管道容積。

定容室結(jié)構(gòu)

1,10.螺母 2,9.標(biāo)準(zhǔn)管道 3.變?nèi)菔抑黧w 4.變?nèi)菔覂?nèi)孔 5 活塞卡套接頭 6,8.內(nèi)孔通道7.檔板

圖2 定容室結(jié)構(gòu)

  這種方法的優(yōu)點(diǎn)是在有效增大變?nèi)菔彝饷娣e的基礎(chǔ)上減小了變?nèi)菔业膬?nèi)部容積,可以使正壓漏孔漏率的測(cè)量下限擴(kuò)展到10-7Pa·m3/s及以下,并且為正壓漏孔、壓力計(jì)、活塞及控制電機(jī)的安裝提供了充分的空間,提高了設(shè)計(jì)的靈活性。根據(jù)設(shè)計(jì)和理論計(jì)算,定容室的容積在6mL左右,再考慮到連接正壓漏孔時(shí)附加的1~2mL容積,這個(gè)容積值還是比較理想的。