幾種常用標準漏孔的結(jié)構(gòu)圖

2008-09-24 admin 真空技術(shù)培訓(xùn)講座

    標準漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量（即漏率）的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明，則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣（其露點溫度低于248K）的漏率。

    幾種常用標準漏孔的結(jié)構(gòu)如圖10所示。

常用的標準漏孔結(jié)構(gòu)圖

圖10：常用的標準漏孔結(jié)構(gòu)圖

    玻璃毛細管型標準漏孔（圖中a）是用局部拉細的玻璃毛細管制成的，漏率為10-8~10-7Pam3/s。

    金屬壓扁型標準漏孔（圖中b）通常是用無氧銅或可伐管壓制而成，漏率為10-8~10-6Pam3/s。

    玻璃鉑絲型標準漏孔（圖中c）是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當鉑絲直徑為0.1~0.5mm；封接長度為5~10mm時，漏率約為10-7Pam3/s。當溫度改變時，其漏率變化。若296K的漏率為qL、296，則溫度T時的漏率為式（8）。式中f（T）的曲線如圖11所示。

漏率隨溫度變化曲線圖 

圖11：漏率隨溫度變化曲線圖

    薄膜滲氦型標準漏孔（圖中d）是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對漏率的影響很大，使用時應(yīng)當注意修正。如果溫度T1時漏孔漏率為qL、T1，使用溫度T2時的漏率應(yīng)為式（9）。式中，E-氦在石英中的滲透激活能；R-摩爾氣體常數(shù)。