本文以我公司首臺(tái)進(jìn)口的油淬氣冷多用真空熱處理爐的現(xiàn)場(chǎng)檢漏分析為例，介紹了在沒(méi)有專用檢漏儀器的情況下，以理論分析判斷為主的檢漏方法，以及對(duì)真空熱處理爐現(xiàn)場(chǎng)檢漏的相關(guān)理論和注意事項(xiàng)進(jìn)行了論述。

　　我公司的真空熱處理設(shè)備越來(lái)越多，圖1 是其中的一臺(tái)進(jìn)口的油淬氣冷多用真空熱處理爐，也是我公司引進(jìn)的第一臺(tái)真空熱處理爐，該照片圖比較清楚地反映出了設(shè)備的加熱室、淬火室以及設(shè)備的整個(gè)抽真空系統(tǒng)。

圖1 我公司的一臺(tái)進(jìn)口的油淬氣冷多用真空熱處理爐

　　理想的真空系統(tǒng)應(yīng)該是不存在任何漏氣現(xiàn)象的。但在實(shí)際的真空系統(tǒng)中，泄漏是絕對(duì)的，不漏則是相對(duì)的。只要設(shè)備的真空度維持在極限真空度以上，或者壓升率達(dá)到設(shè)備的設(shè)計(jì)要求，雖然存在漏氣，也可以認(rèn)為系統(tǒng)是不漏的。真空熱處理設(shè)備的檢漏環(huán)節(jié)主要有以下四個(gè)方面，設(shè)備設(shè)計(jì)階段就要考慮各部件、各部位的檢漏方法和時(shí)機(jī)；設(shè)備制造過(guò)程要檢漏；設(shè)備安裝調(diào)試過(guò)程要檢漏；設(shè)備使用過(guò)程也要檢漏。

　　本文要探討的是設(shè)備使用過(guò)程的檢漏問(wèn)題。真空檢漏的方法很多，大的分類有壓力檢漏法、真空檢漏法和背壓檢漏法三類，而壓力檢漏法和真空檢漏法中又有很多具體的檢漏方法，參考文獻(xiàn)中有很詳細(xì)的介紹。本文要探討的是參考文獻(xiàn)中沒(méi)有介紹的理論分析法，即不使用專用的檢漏儀器、利用設(shè)備上的抽真空系統(tǒng)和真空測(cè)量儀表，以理論分析判斷為主、輔之以簡(jiǎn)易的檢漏方法來(lái)解決真空熱處理設(shè)備的現(xiàn)場(chǎng)檢漏問(wèn)題。

1、影響真空度的主要因素

　　真空熱處理爐正常工作時(shí)的極限真空度由下式?jīng)Q定：

　　由公式（1）我們可以看出，真空爐的真空度是由真空泵的極限真空度、爐室的漏氣率、爐室內(nèi)的表面放氣量和泵對(duì)爐室的有效抽速?zèng)Q定的。泵的極限真空度（P0）是設(shè)計(jì)階段的事，我們不討論。對(duì)爐子真空度的影響因素，除了上述三個(gè)方面的因素外，還有一方面，在查到的參考文獻(xiàn)中都沒(méi)有介紹，就是真空測(cè)量系統(tǒng)的故障問(wèn)題，它直接影響儀表的真空度顯示值，例如真空規(guī)管的污染、真空儀表的零點(diǎn)偏移等。

2、真空泄漏的檢測(cè)指標(biāo)

　　對(duì)于真空設(shè)備而言，無(wú)論密封系統(tǒng)多么可靠，微量的漏氣總是存在的。漏氣率是反映真空設(shè)備質(zhì)量好壞的一個(gè)重要指標(biāo)，冷爐的極限真空度是不能說(shuō)明漏氣情況好壞的，這個(gè)結(jié)論可由分析公式（1）得到[2]。目前對(duì)真空爐的漏氣率均采用壓升率來(lái)表示，單位為Pa/h，JB/T 8195.4- 1999間接電阻爐ZC 系列真空淬火爐標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定：A級(jí)＜2.0 Pa/h，B 級(jí)＜1.33 Pa/h，C 級(jí)＜0.65 a/h。測(cè)量壓升率一般采用靜態(tài)升壓法，也稱為真空放置法，即首先抽真空到設(shè)備的極限真空度，然后關(guān)閉閥門(mén)使真空室同真空泵系統(tǒng)隔離，按GB/T10066.1- 2004 電熱設(shè)備的試驗(yàn)方法的通用部分中的規(guī)定，進(jìn)行讀取數(shù)據(jù)，并計(jì)算壓升率，也可以再乘以真空室的體積得到漏氣率。壓升率的測(cè)量最好是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間抽真空，達(dá)到真空室內(nèi)表面放氣量可以忽略不計(jì)的條件，對(duì)于長(zhǎng)期使用的爐子或真空室長(zhǎng)時(shí)間接觸大氣的爐子，要先進(jìn)行脫氣或凈化處理方可測(cè)壓升率，即使這樣，讀取數(shù)據(jù)時(shí)也要在壓力隋時(shí)間變化呈線性段上讀取數(shù)據(jù)。

3、快速泄漏的理論分析

　　真空度快速下降，一般不用多考慮，肯定存在泄漏點(diǎn)�？焖傩孤┰�因的查找較微量泄漏容易的多，應(yīng)用理論分析的方法就可解決問(wèn)題，最多輔之以簡(jiǎn)易的檢漏方法，就可以找到泄漏點(diǎn)。理論分析的基礎(chǔ)是數(shù)據(jù)，沒(méi)有真實(shí)、詳細(xì)的數(shù)據(jù)是無(wú)法進(jìn)行理論分析的。當(dāng)爐子的真空度出現(xiàn)異常時(shí)，要詳細(xì)觀察真空度下降的過(guò)程、真空度下降前后設(shè)備的工作情況、設(shè)備上各指示儀表的數(shù)據(jù)變化情況，包括回充氣壓力表的變化情況，這些數(shù)據(jù)是進(jìn)行理論分析的重要依據(jù)。有時(shí)候依據(jù)數(shù)據(jù)變化情況進(jìn)行理論分析甚至可以直接找到泄漏點(diǎn)。下面舉兩個(gè)應(yīng)用理論分析找到泄漏點(diǎn)實(shí)際例子。