當(dāng)壓力容器儲(chǔ)存氣體時(shí)，漏氣對整個(gè)容器的氣體儲(chǔ)存來說是個(gè)很大的損失。為解決此問題對制造生產(chǎn)壓力容器的廠家來說，歷來是個(gè)既麻煩又要花費(fèi)大量時(shí)間、人力、精力、財(cái)力的事情，但又不一定能夠很好的解決泄漏這個(gè)關(guān)鍵性的問題。一般壓力容器檢漏先進(jìn)行總漏率檢測，當(dāng)總漏率超出允許值后，再進(jìn)行各個(gè)泄漏孔的檢測，對超過允許值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ)。用加壓水中氣泡法檢壓力容器，能尋找出較大的漏孔位置，但很難檢出微漏和滲漏，特別是壓力容器隨著時(shí)間的滲漏（包括材料本身的滲漏）問題。一般國內(nèi)的企業(yè)在壓力容器檢漏時(shí)經(jīng)常采用以下幾種方法：

　　加壓放置法：充入一個(gè)~三個(gè)以上大氣壓的空氣，放置24小時(shí)或更長，看壓力表上壓力讀數(shù)是否下降，用這種方法可檢到10^-1Pa·m³/S左右的最小漏率。

　　著色法：充入氨氣，在外面著色，可檢到10^-1Pa·m³/S左右的最小漏率。

　　超聲波法：充入一個(gè)~三個(gè)以上大氣壓的空氣，用超聲波檢測器檢漏，可檢到10^-2Pa·m³/S左右的最小漏率。

　　加壓水中發(fā)泡法：充入一個(gè)~三個(gè)以上大氣壓的空氣后，放入水中，看水中有否氣泡出現(xiàn)（可檢到10^-3～10^-4 Pa·m³/S），24小時(shí)積累后可檢到10-5Pa·m3/S左右的最小漏率。

　　涂抹肥皂水法：充入一個(gè)~三個(gè)以上大氣壓的空氣，在懷疑處涂上肥皂水，看是否有肥皂泡出現(xiàn)，可檢到10^-2～10^-3Pa·m³/S。

　　放射性氣體法：可檢到10^-11Pa·m³/S。有放射污染危險(xiǎn)

　　鹵素檢漏法：可檢到10^-5～10^-6Pa·m³/S

　　氦質(zhì)譜檢漏儀:吸槍法可檢到10^-3～10^-7 Pa·m³/S，真空法可檢到100～10^-13Pa·m³/S。

　　從上述檢漏手段來看，可以得出氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏范圍最寬，精度高，安全等優(yōu)點(diǎn)。在國外和外國在國內(nèi)的獨(dú)資、合資企業(yè)中廣泛得到應(yīng)用，現(xiàn)在國內(nèi)的企業(yè)也在隨著用戶要求的提高，和產(chǎn)品的升級換代、走出國門、與外資配套等情形，逐漸增加了氦檢漏儀的應(yīng)用機(jī)會(huì)。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏也是無損檢測（X射線、渦流、超聲等）的多種方法中的一種，是壓力容器無損檢測的最佳形式。廣泛應(yīng)用于航天、航空、核電、電子零部件、真空設(shè)備、電真空、電力、石化、半導(dǎo)體前道、空調(diào)制冷等新技術(shù)的領(lǐng)域。

一．概述

　　泄漏的檢查，存在著各種各樣的方式，其中之一便是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的檢查方式。利用氦氣作為示蹤氣體，來對各種容器的泄漏、微漏和滲漏(包括材料本身的)進(jìn)行檢測。使用氦氣進(jìn)行檢漏是考慮到氦氣具有以下一些優(yōu)點(diǎn)：（不用氫氣，因?yàn)闅錃庥锌扇伎杀�的危險(xiǎn)性）

　　氦氣在空氣中含量非常少，只有5ppm（空氣中占約1/200，000）；

　　在被測試的物體內(nèi)部所殘留的空氣中的氦氣含量也非常少；

　　由于氦分子量小、分子直徑�。ㄔ谠�素周期表中在僅排在氫的后面），即便是極其微小的滲漏孔也能方便地通過；

　　由于具有化學(xué)上的不活躍性，不會(huì)污染排氣系統(tǒng)及被測試物體；

　　由于具有對人體無害性和不可燃爆性，因此使用安全方便；

　　對分析管的分辨率要求并不高，容易實(shí)現(xiàn)高靈敏度；

　　不存在環(huán)境污染問題。

二．氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理及主要組成部分

　　氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對離子源氣體進(jìn)行電離，電離出來的正離子經(jīng)過電場加速聚焦通過縫隙進(jìn)入均勻磁場，離子束在磁場力的作用下，旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達(dá)收集極，此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后，經(jīng)小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。

三．氦質(zhì)譜檢漏儀在壓力容器中的常用方法

　　在壓力容器中，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏常用的方法大體可分為三種，即噴氦法（負(fù)壓法），吸槍法（正壓法），氦罩法。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。

（一）噴氦法

　　噴氦法是最常用，最方便的檢漏方法。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴槍向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦檢漏儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。

　　噴氦法檢漏中應(yīng)該注意以下幾個(gè)問題：

　　1、實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴槍噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。

　　2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。

　　3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。

　　4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，在對另一點(diǎn)用最細(xì)的噴槍進(jìn)行噴氦。

　　5、當(dāng)噴槍噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。

　　6、檢出漏孔后，還應(yīng)再做幾次復(fù)檢。

　　7、檢漏場地要有良好的通風(fēng)條件，但也不能太大，不應(yīng)影響噴槍噴出的氦氣氣流的方向。

（二）吸槍法

　　吸槍法是先向壓力容器裝置中充入一個(gè)以上的大氣壓的氦氣或氦氣與其他氣體的混合氣，從壓力容器裝置的外部檢測從漏孔泄漏到外部的氦氣，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)漏孔。用吸槍尋找氦氣時(shí)，一旦氦氣被吸入，氦檢漏儀就會(huì)顯示出漏率值。在這種情況下，因?yàn)閴毫θ萜餮b置外部是一個(gè)大氣壓，所以充入壓力容器裝置內(nèi)的氣體壓至少需要一個(gè)大氣壓以上。但壓力不宜過高，壓力過高，插在裝置上的壓力表或其它插件就會(huì)彈出而發(fā)生傷人等危險(xiǎn)事故。在噴氦法中，噴的氦氣很有可能把漏孔完全覆蓋上，這樣，氦分子就以接近一個(gè)大氣壓的壓力差通過孔進(jìn)入內(nèi)部，與此相反，吸槍法從大體來說，首先用氦氣使內(nèi)部壓力達(dá)到一個(gè)大氣壓以上，如果壓力差達(dá)不到一個(gè)大氣壓以上，氦氣就不會(huì)以相同的量流到外部，接著漏出的氦氣馬上在大氣中擴(kuò)散，即使是吸槍口（一般都是非常小的）也不可能把漏泄的氦氣全部吸進(jìn)去。

　　吸槍法（正壓法）檢漏，用純氦檢時(shí)，可使用氦氣回收裝置，重復(fù)使用，以降低使用成本。或使用濃度不低于5~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動(dòng)情況，因?yàn)檫@會(huì)影響到吸槍法的檢測精度。吸槍法（正壓法）檢漏與鹵素檢漏極為相似，但應(yīng)注意的是容器內(nèi)所充的示蹤氣體是不同的，即使有相同的漏率值，其意義也是不同的，能夠區(qū)分這一點(diǎn)很重要。除實(shí)驗(yàn)測試比較法以外另有計(jì)算式Q1η1= Q2η2（Q為氣體的泄漏流量，η為氣體的粘度系數(shù)），Q1M11/2= Q2M21/2（M為氣體的分子量）。吸槍法檢漏中應(yīng)注意以下幾個(gè)問題：

　　1、靈敏度受連接管道的流導(dǎo)的限制。

　　2、初次檢漏時(shí)、被檢件體內(nèi)切勿充入過高壓力的氦氣。因?yàn)槿绻�有漏孔，氦氣�?huì)從被檢件物中漏出，造成較大浪費(fèi)，而且氦氣到處擴(kuò)散，給檢漏儀帶來非常大的干擾。因此，一般應(yīng)先向被檢件物內(nèi)充以低壓力、低濃度的氦氣，再充入高壓力，高濃度的氦氣，對小漏孔進(jìn)行檢漏。如果存在較大漏孔時(shí)，可對檢件體先進(jìn)行加壓水中發(fā)泡法檢大漏，這樣既可以減少氦氣的浪費(fèi)，因?yàn)楹�氣較貴（不同濃度的價(jià)格也不同），又可避免對氦檢漏儀的氦中毒的損害。

（三）氦罩法

　　這種方法使用一個(gè)檢漏罩（塑料薄膜等）把被檢容器包起來，先排除罩內(nèi)空氣，然后充入氦氣或氦氣的混合氣體，檢漏儀與被檢容器內(nèi)部連接，當(dāng)檢漏儀有漏率顯示時(shí)，說明有泄漏。這個(gè)漏率稱為總漏率�？偮┞蕿楦鱾�(gè)分漏率之和；總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值，則各個(gè)分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值；總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值，則檢查各個(gè)點(diǎn)的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進(jìn)行修補(bǔ)，直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。

　　大型壓力容器在檢漏時(shí)，經(jīng)常使用輔助真空系統(tǒng)（輔助真空系統(tǒng)----有真空機(jī)械泵+增壓泵，真空管道，三通，真空計(jì)，真空閥門，放氣閥門等組成）來進(jìn)行預(yù)抽真空，真空度達(dá)到一定值時(shí)，關(guān)閉輔助真空系統(tǒng)，或使用真空切換閥，再開啟檢漏儀來進(jìn)行檢漏。