氦質譜檢漏靈敏度分析方法
2008-11-05 admin 真空技術網(wǎng)整理
對真空漏率要求較高的大容器檢漏一般采用氦質譜真空檢漏，此時檢漏靈敏度的高低是衡量檢漏結果精確與否的重要指標之一。要充分發(fā)揮檢漏儀的能力，以求得盡可能高的檢漏靈敏度，必須對輔助真空系統(tǒng)進行合理設計。下面通過對檢漏靈敏度的分析確定檢漏儀在本套真空系統(tǒng)中的連接方式。
通過對檢漏儀的調節(jié)，能使其在高真空側和前級側時對氦氣的抽速Sd保持一致，Qmin為系統(tǒng)參數(shù)一般不變，從式(1)和式(2)可看出qmin的高低取決于S1和S2的大小。在分流狀態(tài)，有S2>>S1，即qmin1＜qmin2。在次級泵啟動進入穩(wěn)定狀態(tài)后，一般可將前級泵處節(jié)流閥關閉，即S1＝0，由式(1)可知，此時qmin1=Qmin。而相同條件下，次級泵處閥門卻不能完全斷開，即S2＞0，由式(2)可知，qmin2＞Qmin，比較有qmin1＜qmin2。在需對大容器抽高真空并要求檢漏時，檢漏儀接在前級側時的系統(tǒng)檢漏靈敏度高于接在高真空側的檢漏靈敏度。
表 1 檢漏儀接高真空側節(jié)流閥6圈，機械泵二通閥全開 (全分流)
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序號 |
開 V Qs
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關 V Qs |
信號變化/mV |
均值 q min /Pa·m 3 /s |
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1 |
0.019 ′ 1 ′ 10 - 9 | 0.015 ′ 1 ′ 10 - 9 |
4 |
1.4 ′ 10 - 9 |
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2 |
0.0195 ′ 1 ′ 10 - 9 | 0.016 ′ 1 ′ 10 - 9 |
2.5 |
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3 |
0.019 ′ 1 ′ 10 - 9 | 0.015 ′ 1 ′ 10 - 9 |
4 |
