在真空系統中，對材料的真空性能有特殊要求，其中兩個重要的參數是材料的透氣和放氣。

　　在上文中(真空檢漏的必要性及影響系統真空度的氣體來源，http://www.mp99x.cn/leakhunting/095515.html)已經提到了真空系統的透氣現象，在真空腔的兩側如果存在壓強差，任何材料總會或多或少滲透一些氣體。滲透率與氣體的種類和材料的種類有關，而且差異很大。比如鐵和鎳，對氫氣就有較高的滲透率。

　　物質表面吸附(或凍結)有水和油等有機化合物。當物質處于真空環(huán)境中時，表面的吸附物會慢慢揮發(fā)或升華成為氣體，逐漸放出。特別是多孔等表面積大的物質，放出的氣體會極大地影響真空度。要達到較高的真空度，必須選擇放出氣體少的材料。如果從外部沒有導入氣體，經過充分時間后真空腔所能達到的壓強由排氣速度和氣體放出量決定。

　　材料的放氣是一個非常復雜的過程。首先，物體表面放出的氣體可能會被其他表面吸附，那里又會成為新的氣體放出源。其次，從固體內部還不斷有氣體擴散到表面。氣體放出量會隨時間而不斷減少，但不可能達到零。因此，根據所需達到的壓強，一直到氣體放出可以忽略，都要不停地排氣，而且要維持氣體壓強，也必須不斷排氣。

　　超高真空中應盡量避免使用黃銅材料，因為黃銅中含有大量的Zn。Zn的蒸氣壓高，處于真空中的黃銅如果溫度升高，則Zn會大量放出，從而污染真空系統。

　　如果氣體的放出量和吸附量成正比例，則放氣率應該隨時間t呈指數函數關系減少，而實際上放氣率隨時間t呈反比例關系減少。這一現象也證明氣體的吸附和放出過程中有許多復雜的中間狀態(tài)。一般情況下，金屬和玻璃的放氣率較小，而樹脂和橡膠較大。因此在高真空領域，盡量不用樹脂和橡膠。如圖1所示為幾種材料的放氣率，圖中的數值表示排氣后的經過時間。

圖1 材質和放氣率的關系(圖中的數值是排氣后的經過時間)

　　關于氣體放出，簡單總結如下：

　　(1)達到高真空度必須選擇放氣率較小的材料；

　　(2)氣體放出量隨時間增加而減少，但不能達到0；

　　(3)一般情況下按橡膠、樹脂、陶瓷、金屬、玻璃的順序放氣率依次減��；

　　(4)放出氣體的主要成分是水蒸氣；

　　(5)放氣率和材料所處的環(huán)境及表面狀態(tài)有關，難于精確預測。