靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量不確定度小的優(yōu)點(diǎn)，經(jīng)過(guò)百年的探索和研究，包括我國(guó)在內(nèi)的多個(gè)國(guó)家已將該標(biāo)準(zhǔn)作為真空計(jì)量基準(zhǔn)器具。近年來(lái)，隨著我國(guó)在航天、高能物理、核聚變、表面科學(xué)、微電子器件等領(lǐng)域發(fā)展迅速，對(duì)超高真空精確校準(zhǔn)提出了普遍需求，而傳統(tǒng)靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)下限通常為10^-4 Pa到10^-5 Pa量級(jí)，不能實(shí)現(xiàn)對(duì)超高真空精確校準(zhǔn)需求，需采用新技術(shù)、新方法研制新一代靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置。

　　國(guó)防科技工業(yè)真空一級(jí)計(jì)量站經(jīng)過(guò)多年技術(shù)攻關(guān)，突破了靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)下限的延伸、真空容器容積及容積比的精確測(cè)量、極小漏孔檢漏、真空材料除氣及出氣率測(cè)量等一系列關(guān)鍵技術(shù)。研制出了新一代靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，校準(zhǔn)下限比目前已報(bào)道的國(guó)際同類標(biāo)準(zhǔn)裝置的最好水平(10^-5 Pa量級(jí))向下延伸了2個(gè)數(shù)量級(jí)，首次達(dá)到10^-7 Pa量級(jí)的超高真空范圍，實(shí)現(xiàn)了采用靜態(tài)膨脹法對(duì)超高真空規(guī)的精確校準(zhǔn)，解決了百年來(lái)困擾校準(zhǔn)下限延伸的國(guó)際性難題。

　　建立的新一代靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)一步完善了我國(guó)真空標(biāo)準(zhǔn)的量傳體系，滿足了航空航天、高能加速器、核聚變、表面科學(xué)、微電子器件等領(lǐng)域?qū)Τ�高真空校�?zhǔn)的需求，已在重離子加速器、同步輻射光源等國(guó)家重大工程的建設(shè)中得到了應(yīng)用，并為我國(guó)的多個(gè)型號(hào)研制部門提供了大量準(zhǔn)確的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，為產(chǎn)品的安全和可靠性提供了計(jì)量保障服務(wù)。

　　研制的新一代靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置2013年獲得國(guó)防技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。

研制的新一代靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置

國(guó)防技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)證書