10月14日，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱“中科儀”)發(fā)布公告稱，中科儀與國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司(以下簡稱“大基金”)、宿遷渾璞五期集成電路產(chǎn)業(yè)基金(有限合伙)(以下簡稱“渾璞投資”)和國科科儀控股有限公司(以下簡稱“國科科儀”)達成戰(zhàn)略投資意向，擬于近期簽訂戰(zhàn)略投資協(xié)議。

　　根據(jù)協(xié)議，大基金、渾璞投資和國科科儀就中科儀真空干泵產(chǎn)業(yè)化升級等戰(zhàn)略投資事宜達成意向，投資金額分別為不超過人民幣1.4億元、7000萬元、5000萬元，投資方式包括但不限于受讓老股、認購新股等。

　　中科儀是一家專業(yè)從事真空儀器裝備、真空獲得設備研制生產(chǎn)并服務于集成電路產(chǎn)業(yè)及科研領(lǐng)域的企業(yè)。公告表示，中科儀獲得國家重大專項支持的真空干泵已經(jīng)在中芯國際、長江存儲、華力微電、北方華創(chuàng)等國內(nèi)知名集成電路生產(chǎn)制造企業(yè)及集成電路裝備制造企業(yè)產(chǎn)業(yè)化推廣，打破了一直以來由國外廠家壟斷的局面，目前，該公司是國內(nèi)唯一一家在集成電路領(lǐng)域替代進口的真空干泵生產(chǎn)制造企業(yè)。

　　在集成電路生產(chǎn)線種類眾多的整機裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環(huán)境生產(chǎn)組裝。真空干泵及真空閥門是關(guān)鍵的潔凈真空子系統(tǒng)，其作用是獲得、維持與控制集成電路裝備整機潔凈真空運行環(huán)境，在生產(chǎn)線中應用最為普遍，市場需求巨大。

　　中科儀研發(fā)團隊先后攻克了集成電路制造工藝與潔凈真空獲得系統(tǒng)優(yōu)化組合、全新理論型線設計與多種轉(zhuǎn)子形式組合、全新密封結(jié)構(gòu)和振動/噪聲抑制方法、表面防腐技術(shù)、獨特的控制/反饋軟件與通用控制接口結(jié)合、閥門密封技術(shù)以及獨特的電機與驅(qū)動系統(tǒng)設計等關(guān)鍵技術(shù)。

　　此外，作為國內(nèi)干泵的領(lǐng)軍企業(yè)，中科儀承擔了國家發(fā)改委振興東北老工業(yè)基地高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程專項——IC裝備超潔凈真空的研制并開展了系統(tǒng)項目的實施工作，組織承擔并完成了國家“十五”IC裝備重大專項子課題——IC生產(chǎn)線用羅茨干泵項目。

　　今年8月，中科儀發(fā)布股票發(fā)行預案，擬非公開定向發(fā)行股票，預計募集資金不超過3億元，要用于補充流動資金、新一代高效節(jié)能真空干泵研發(fā)、建立干泵產(chǎn)業(yè)化基地、技術(shù)服務和維修中心建設。

　　中科儀未在公告中提及此次即將簽訂的戰(zhàn)略投資協(xié)議是否與上述募資事項有關(guān)，其表示本協(xié)議對公司的業(yè)務獨立性不構(gòu)成影響，公司主要業(yè)務不存在因履行本協(xié)議而對合作方形成依賴的可能性。

　　但無論如何，大基金、渾璞投資等戰(zhàn)略投資者的關(guān)注及加入，將有望助力中科儀真空干泵進一步產(chǎn)業(yè)化，加速國產(chǎn)真空干泵發(fā)展升級。