氣體捕集真空泵
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集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀,并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
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低溫冷凝泵的抽氣特性
本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實(shí)際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計算公式。
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低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同,又可分為三種類型: 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。
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濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機(jī)理
濺射離子泵又稱潘寧泵,它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設(shè)備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部分組成。
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分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)
分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計的一種真空泵。分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型:按冷卻方式不同,可分為內(nèi)冷式和外冷式。
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冷阱的基本結(jié)構(gòu)
冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點(diǎn)是捕油性能好, 既能擋住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在內(nèi)膽和上法蘭之間的薄壁筒, 作為表面油分子的爬移壘。
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低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實(shí)例
本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用; 重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計思路,真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng),低溫泵的選型計算,并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。
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HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計算
HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計階段就的對低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評估,甚至是定量的計算。作為一個復(fù)雜的系統(tǒng),HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的;并且從制造和加工的成本考慮,
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實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置性能測試及分析
本文根據(jù)100 MeV 串列加速器升級工程項(xiàng)目實(shí)際使用的條件和對抽速的要求,對實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置的低溫抽氣性能進(jìn)行了測試。
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