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氣體捕集真空泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
低溫冷凝泵的抽氣特性

本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實(shí)際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計算公式。
低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)

利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同，又可分為三種類型：非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。
濺射離子泵的抽氣特性

蔀射離子泵的抽氣特性如濺射離子泵的極限壓強(qiáng)、濺射離子泵的抽速、濺射離子泵在抽除惰性氣體氬不穩(wěn)定性、濺射離子泵對有機(jī)蒸氣污染敏感等等。
濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機(jī)理

濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設(shè)備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部分組成。
鈦升華泵的極限壓強(qiáng)與抽速

鈦升華泵的極限壓強(qiáng)：可達(dá)10-10Pa。鈦升華泵的抽速較大，抽速可以計算。
鈦升華泵的主要幾種結(jié)構(gòu)

鈦升華泵的結(jié)構(gòu)大致可分為三部分：吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。本文主要講敘了升華器的幾種類型結(jié)構(gòu)。
鈦升華泵的工作原理

利用加熱的方法升華鈦并使其沉積在一個冷卻的表面上，對氣體進(jìn)行薄膜吸附的抽氣裝置，稱為鈦升華泵。
分子篩吸附泵的抽氣特性

分子篩吸附泵的極限壓強(qiáng)：一般為10-2～10-3Pa，吸附泵的抽速計算公式，由此可以看出分子篩吸附泵的抽氣特性。
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)

分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計的一種真空泵。分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型：按冷卻方式不同，可分為內(nèi)冷式和外冷式。
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣原理

分子篩是一種人工合成的沸石，分子篩對氣體的吸附是物理吸附，過程是可逆的。低溫下吸附的氣體在溫度回升時將如數(shù)地釋放出來。
氣體捕集式真空泵的幾種類型

氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵內(nèi)表面上的真空泵，可分吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵幾種類型。
鈦泵和濺射離子泵的工作原理

鈦泵是真空泵的一種, 但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu), 也不使用真空泵油,它采用俘獲氣體分子的方式除氣, 能得到清潔的高真空。
冷阱的基本結(jié)構(gòu)

冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點(diǎn)是捕油性能好, 既能擋住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在內(nèi)膽和上法蘭之間的薄壁筒, 作為表面油分子的爬移壘。
低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)

低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來獲得和保持真空。本文圖文詳解低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)。
低溫泵測試系統(tǒng)的搭建

低溫泵的測試系統(tǒng)原理圖如圖所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測試容器、真空規(guī)、氣體流量計和閥門等。
CSNS離子泵性能測試

本文詳細(xì)介紹了離子泵性能測試方法。經(jīng)過測試的離子泵，安裝到加速器上均能正常工作，動態(tài)真空滿足設(shè)計指標(biāo)。
低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實(shí)例

本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用；重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計思路，真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng)，低溫泵的選型計算，并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。
HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計算

HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計階段就的對低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評估，甚至是定量的計算。作為一個復(fù)雜的系統(tǒng)，HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的；并且從制造和加工的成本考慮，
實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置性能測試及分析

本文根據(jù)100 MeV 串列加速器升級工程項(xiàng)目實(shí)際使用的條件和對抽速的要求，對實(shí)驗(yàn)低溫冷板抽氣裝置的低溫抽氣性能進(jìn)行了測試。