冷凝泵的基本原理與制冷過程

2009-03-17 李小寧 華越微電子有限公司

G-M循環(huán)冷凍機(jī)的基本原理

        驅(qū)動(dòng)He氣通過壓縮機(jī)的壓縮后,以高壓形態(tài)供給冷凍機(jī),將蓄冷器和氣缸的室溫側(cè)連在一起,借助切換閥接在He氣壓縮機(jī)的高壓與低壓側(cè)。此外,再將蓄冷器和氣缸切換到低溫側(cè),氣缸內(nèi)有一個(gè)活塞連桿,借助曲柄連桿機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)。為使G-M循環(huán)冷凍機(jī)更小型化緊湊化,在活塞桿內(nèi)采用了蓄冷器構(gòu)造(如圖2所示)。

冷凍機(jī)結(jié)構(gòu)圖 

圖2 冷凍機(jī)結(jié)構(gòu)圖

        用活塞密封被隔氣缸內(nèi)的壓縮氣體, 通過活塞的上下移動(dòng),使里面的被隔氣體膨脹,就可使其吸收外部的熱量。如果,從外部傳入的熱量較少或者根本沒有, 處于斷熱狀態(tài),氣體本身就會(huì)降溫。這種吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能量守恒的角度來分析,正好與活塞對(duì)外做的功相等。這就是制冷的基本原理。

G-M循環(huán)冷凍機(jī)的制冷過程

制冷流程簡(jiǎn)圖 

圖3 制冷流程簡(jiǎn)圖