分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計的一種真空泵。它是目前獲得無油超高真空較為理想的一種予抽泵。

一、分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)要求

  分子篩吸附泵要滿足如下幾個條件。

  1、使分子篩能得到充分冷卻。

  2、使被抽氣體易于深入分子篩內(nèi)部。

  3、節(jié)省液氮的消耗量。

  4、易于對分子篩加熱再生。

  5、必須設(shè)置安全閥。

二、分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型

  按冷卻方式不同,可分為內(nèi)冷式和外冷式。

內(nèi)冷式分子篩吸附泵機構(gòu)示意圖

圖1:內(nèi)冷式分子篩吸附泵機構(gòu)示意圖

  1、內(nèi)冷式

  如圖l所示。泵外殼用不銹鋼制成。分子篩放在無氧銅翼片上,四周有鎳網(wǎng)圍住,防止分子篩漏掉。翼片間距適當。以保證分子篩的充分冷卻。由上蓋板的兩個孔注入液氮后,分子篩便大量吸氣,泵內(nèi)被抽成真空。

  當液氮消耗完畢,分子篩吸附的氣體緩慢放出,泵內(nèi)壓強超過一個大氣壓時,沖開安全閥的氟橡膠塞子,氣體排入大氣中。這種吸附泵用7~8次后需加熱再生一次。再生電爐是細棒狀,由液態(tài)注入口插入,可使分子篩被加熱到300~500oC。

外冷式分子篩吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖

圖2:外冷式分子篩吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖

  2、外冷式

  如圖2所示。泵殼是一個不銹鋼圓筒,焊上輻射狀銅制導熱片(圖a)或液氮冷卻管(圖b),以保證分子篩冷卻良好,泵的中心安放一個頂端封閉的圓柱狀金屬網(wǎng)筒,以保證氣路暢通。

  分子篩放在這些導熱片(或液氮冷卻管)與網(wǎng)筒之間。吸附泵套上一只塑料筒盛放液氮;分子篩需加熱再生時,把它卸下,另裝一“穿衣式”電爐加熱。