分子篩吸附泵的抽氣特性

2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  1、分子篩吸附泵極限壓強(qiáng):一般為10-2~10-3Pa。

  2、分子篩吸附泵的抽速:分子篩吸附泵的抽速可用經(jīng)驗(yàn)公式計(jì)算。

  S = 2.8×10-2A (L/S) (1)

  S = 6.6×10-3A·K (L/s) (2)

  n = 4( W / A ) (3)

  式中A為垂直于泵軸線的截面積(cm2);K為系數(shù);W為分子篩用量(g);當(dāng) n>17 時(shí),用(1)式計(jì)算抽速S,當(dāng) n<17 用(2)式計(jì)算S,系數(shù)K按表1選取。

表1 系數(shù)K

n
2
4
6
8
10
14
17
K
1.75
2.85
3.35
3.65
3.75
3.99
4.0
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