濺射離子泵的抽氣特性
2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1、濺射離子泵的極限壓強(qiáng)：可達(dá)10-10Pa。
2、濺射離子泵的抽速：在高真空時(shí)，二極型濺射離子泵每一陽(yáng)極格子的抽速經(jīng)驗(yàn)公式為
二極型濺射離子泵的抽速經(jīng)驗(yàn)公式
式中h 為陽(yáng)極筒高度(cm);Ua為陽(yáng)極電壓(V);H 為磁場(chǎng)強(qiáng)度(A/m);d 為陽(yáng)極簡(jiǎn)直徑(cm);e = 2.71828。
多個(gè)陽(yáng)極筒組成一臺(tái)濺射離子泵以后，其總抽速不考慮泵口流導(dǎo)影響)為：
So = m·nfs (L/s) (6)
式中m 優(yōu)為泵高方向并聯(lián)單元組數(shù);n 為泵深方向每一縱行單元數(shù);f 為抽速有效系數(shù)，與單元排列有關(guān);s為每一單元的抽速。
3、濺射離子泵在抽除惰性氣體時(shí)，二極泵會(huì)出現(xiàn)氬不穩(wěn)定性。
4、濺射離子泵對(duì)有機(jī)蒸氣污染敏感，連續(xù)抽30min油蒸氣就會(huì)使泵起動(dòng)困難。
