(1) 氦氣壓縮機潤滑油的泄漏故障現(xiàn)象：

       氦氣壓縮機內(nèi)部有潤滑油泄漏故障分析和排除: 氦氣壓縮機由機械部件組成, 為了保證運轉(zhuǎn)的正常需要對運動部件進(jìn)行潤滑油潤滑。潤滑油會與從低溫泵中回來的氦氣混合后進(jìn)入壓縮機的泵體。通過泵體壓縮后, 出來的是高溫高壓帶有潤滑油的氦氣。通常壓縮機漏油分兩種情況: 第一種是壓縮機經(jīng)過多年的連續(xù)運轉(zhuǎn)后, 密封件老化, 造成泄漏。第二種是由壓縮機的安全閥引起的。在壓縮機的管路中裝有一個黃色銅制安全閥, 當(dāng)壓縮機內(nèi)部的壓力超過一定數(shù)值時, 安全閥被推開, 高壓的潤滑油與氦氣的混合物噴出, 造成漏油。

        因此, 壓縮機的潤滑油泄漏分為密封件老化泄漏和安全閥打開泄漏。這兩種情況都是不能完全避免的。而低溫泵系統(tǒng)通常是放在潔凈室內(nèi),不可以有任何泄漏污染工作環(huán)境。所以通常建議將低溫泵和壓縮機分開放置, 即將壓縮機放置到潔凈室的外面, 以防萬一。

(2) 氦氣壓縮機的氦氣泄漏：

        故障現(xiàn)象: 在壓縮機經(jīng)過長期運轉(zhuǎn)后, 壓縮機內(nèi)的氦氣壓力會有所降低。故障分析和排除: 這可能是由于兩種原因造成的。第一、在每次拆裝氦氣管路時, 會損失一定的氦氣。氦氣管路的接頭為自密封型, 理論上每次拆裝只會有2 毫升的氦氣損耗。但實際操作時, 有時會聽到漏氣的聲音, 此時就有可能泄漏較多的氦氣。這種情況只需補充氦氣即可。第二、氦氣系統(tǒng)泄漏。氦氣系統(tǒng)的泄漏會造成氦氣的壓力持續(xù)降低, 最終會影響低溫泵的抽氣性能。這時需要使用帶有嗅探器( Sniffer) 的氦氣檢漏儀對整個低溫泵系統(tǒng)進(jìn)行測漏。排除漏點后, 對壓縮機補充氦氣。

      因此, 為了避免氦氣的泄漏, 通常盡量避免對氦氣管路進(jìn)行頻繁拆裝。在氦氣壓縮機運轉(zhuǎn)多年后, 應(yīng)對密封件進(jìn)行更換, 特別是各電磁閥處的密封墊圈。