濺射離子泵抽速或真空度下降可考慮以下幾種原因:

離子泵漏氣

       當(dāng)真空度略有下降或者抽真空速率較慢時,首先考慮的就是漏氣, 這種漏氣通常是微小的。微漏從表面上看, 對生產(chǎn)沒有太大的影響, 只要增加抽氣時間就行了, 但是, 忽視微漏降低生產(chǎn)效率不說, 長期下去會對泵本身造成損害, 另外產(chǎn)品質(zhì)量也難以保證。微漏的位置通常在泵體的焊接處和法蘭接口處。使用乙醚噴在泵體接口處就能快速準(zhǔn)確地找到微漏的位置, 加以維修。接口處上固定螺絲時, 各點受力要均勻。

離子泵吸氣劑飽和

        濺射離子泵長期使用會使吸氣劑鈦產(chǎn)生飽和, 使真空質(zhì)量變差。俘獲型真空泵的特點就是消耗吸氣劑。吸氣劑與氣體分子結(jié)合生成穩(wěn)定物質(zhì)沉積下來, 所帶來的必然結(jié)果就是飽和。此時可以看到濺射離子泵的陽極筒壁和陰極板表面附著大量銀白色物質(zhì), 這種物質(zhì)就是鈦與氣體分子結(jié)合生成的固溶體。

       因此, 必須定期對濺射離子泵進(jìn)行再生處理。對濺射離子泵的再生處理方法有兩種, 一種是化學(xué)腐蝕, 一種是在真空中高溫烘烤�；瘜W(xué)腐蝕的方法能使鈦迅速恢復(fù)活性, 但是化學(xué)方法具有一定的危險性, 而且需要專業(yè)的操作, 不可能經(jīng)常使用。另一種可行方法就是在真空中高溫烘烤, 也就是燒真空。將陰極板放入真空爐中加熱到一定溫度, 就能使鈦釋放出它所吸附的氣體。陽極壁筒上附著的固溶體可以通過超聲撕裂的方法將其除去。

       漏氣也會加快吸氣劑鈦的飽和, 檢修時需要注意這一點。

離子泵泵體重裝后處理不當(dāng)

       泵體重裝后處理不當(dāng)也會影響泵的正常工作, 甚至產(chǎn)生非常嚴(yán)重的后果。濺射離子泵只能在低壓強(qiáng)下工作, 這與其工作機(jī)理有關(guān)。泵體重裝后, 陰陽極板都處于大氣壓強(qiáng)下, 此時需要前級泵將泵體內(nèi)壓強(qiáng)抽到10- 2 Pa 泵才能進(jìn)行啟動。如果泵體內(nèi)壓強(qiáng)不達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)就啟動泵, 就必然加重泵的負(fù)擔(dān)。氣體量的增大使鈦的消耗加大, 抽速下降, 工作壽命縮短。

      當(dāng)壓強(qiáng)足夠高時, 會在極板間產(chǎn)生強(qiáng)烈的放電,灼燒極板, 致使其變形甚至報廢, 嚴(yán)重的變形還會使極間短路, 如圖3。此類故障為人的誤操作導(dǎo)致, 須加以預(yù)防。