低溫泵的測(cè)試系統(tǒng)原理圖如圖1所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測(cè)試容器、真空規(guī)、氣體流量計(jì)和閥門等。

　　皮拉尼規(guī)、BA規(guī)和氣體流量計(jì)由北京航天計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所計(jì)量，硅二極管、PT100以及低溫儀表由中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所低溫計(jì)量中心計(jì)量。

　　低溫泵的二級(jí)冷板和障板上安裝了4個(gè)硅二極管測(cè)溫傳感器，低溫泵的防輻射屏上安裝了3個(gè)PT100測(cè)溫傳感器，為了簡化圖表的顯示，二級(jí)冷板的溫度或者防輻射屏和障板的溫度均為這些傳感器測(cè)試值的平均值。

　　測(cè)試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和尺寸嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T11081-2011中流量法測(cè)試低溫泵性能參數(shù)的要求進(jìn)行搭建，具體對(duì)低溫泵的抽速、渡越容量及降溫時(shí)間的測(cè)試流程也按照標(biāo)準(zhǔn)的要求進(jìn)行。

圖1  低溫泵測(cè)試系統(tǒng)