可能原因1：泵油量不足或者真空油不清潔。

　　排除方式：增添油量或換新油。

　　可能原因2：泵油牌號(hào)不符。

　　排除方式：換規(guī)定牌號(hào)真空泵油。

　　可能原因3：泵的進(jìn)油孔堵塞或者供油量不足。

　　排除方式：清理進(jìn)油孔或調(diào)節(jié)油量。

　　可能原因4：泵轉(zhuǎn)速不夠。

　　排除方式：檢查電機(jī)供電電壓或者電機(jī)本身是否存在故障。

　　可能原因5：排氣閥片損壞。

　　排除方式：更換閥片。

　　可能原因6：旋片彈簧斷裂

　　排除方式：更換旋片彈簧

　　可能原因7：密封墊片損壞，油封墊圈磨損漏氣。

　　排除方式：更換新墊圈。

　　可能原因8：零件表面磨損導(dǎo)致間隙過大。

　　排除方式：更換磨損件。

　　可能原因9：轉(zhuǎn)子損壞及軸承間隙大。

　　排除方式：更換磨損軸承或轉(zhuǎn)子。

　　可能原因10：吸入氣體溫度過高。

　　排除方式：檢查吸入氣體溫度是否在產(chǎn)品吸入氣體規(guī)定溫度范圍內(nèi)，否則請(qǐng)冷卻氣體致規(guī)定溫度范圍。