渦旋真空泵的原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、類型及應(yīng)用

2013-05-03 楊旭 重慶工商大學(xué)

1、渦旋真空泵的工作原理

  渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)組裝在一起,動(dòng)、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差,這樣組成的一對(duì)渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線( 在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)) 上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔,動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)

  動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng),接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機(jī)的帶動(dòng)下,曲軸每轉(zhuǎn)一圈,就有一組新的月牙封閉腔形成,從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán),對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。

2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)類型

2.2.1、公轉(zhuǎn)型

  公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)( 稱為靜渦旋) ,另一個(gè)繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)( 稱為動(dòng)渦盤) ,動(dòng)渦盤由曲柄軸驅(qū)動(dòng),密封點(diǎn)位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。它整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機(jī)械磨損少,但需進(jìn)行平衡設(shè)計(jì)。渦旋真空泵利用最外側(cè)渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了減少渦盤末端和進(jìn)氣口之間的流導(dǎo),常將進(jìn)氣口設(shè)在渦旋盤外圈末端附近。同時(shí)為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過程中盡量排走,一般將排氣孔設(shè)在靜渦盤中心附近。因?yàn)闇u旋泵內(nèi)壓縮比不是很大,常設(shè)置排氣閥以消除壓縮不足,但應(yīng)使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高抽速或減少渦盤尺寸,常設(shè)計(jì)采用雙側(cè)渦旋。

2.2.2、回轉(zhuǎn)型

  回轉(zhuǎn)型是由兩個(gè)渦旋盤心軸分別裝在兩側(cè)軸承上,其中一個(gè)由電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),另一個(gè)由十字滑環(huán)機(jī)構(gòu)帶動(dòng),沿相同角度旋轉(zhuǎn)。其密封位置形成一條線,方向始終不變,泵采用立式結(jié)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)在機(jī)殼內(nèi)上部,渦盤在下部。因其密封方向不變,回轉(zhuǎn)徑向密封既便于人為控制,又能避免渦圈側(cè)面接觸而需進(jìn)行的卸載運(yùn)轉(zhuǎn),但其整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、零件多、機(jī)械磨損高。

2.2.3 、轉(zhuǎn)型和回轉(zhuǎn)型的區(qū)別

  (1) 轉(zhuǎn)動(dòng)形式不同。公轉(zhuǎn)型是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)為靜渦旋,另一個(gè)為動(dòng)渦旋,動(dòng)渦旋繞著靜渦旋作公轉(zhuǎn)平動(dòng)。而自轉(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤各自繞其自身轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)兩者同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

  (2) 密封位置和方向不同;剞D(zhuǎn)型的兩個(gè)渦旋盤齒的徑向密封位置形成一條線,密封線方位始終固定不變。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械徑向密封的位置和方向卻隨著主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。即主軸旋轉(zhuǎn)一周,徑向密封線的方位變化360°。

  (3) 渦旋盤所受的氣體徑向力和切向力的方向不同。公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由動(dòng)渦旋隨曲軸作偏心公轉(zhuǎn),因而動(dòng)渦旋受氣體徑向力和切向力的方向繞曲軸同步回轉(zhuǎn)。而回轉(zhuǎn)型兩個(gè)渦旋盤所受氣體徑向力和切向力在空間的位置和方向則始終不變,徑向力在密封線方向,切向力垂直于密封線方向。因而不能像公轉(zhuǎn)型渦旋機(jī)械那樣,應(yīng)用偏心套或滑動(dòng)軸套徑向隨便機(jī)構(gòu)自動(dòng)調(diào)節(jié)渦旋齒側(cè)面間隙,達(dá)到徑向密封。公轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受均勻載荷,而回轉(zhuǎn)型渦旋曲軸承受局部載荷,設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)特別注意。

  (4) 平衡不同。在回轉(zhuǎn)型渦旋中,由于不使用偏心軸,兩個(gè)渦旋各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng),在不考慮渦旋齒偏心質(zhì)量情況下,可不考慮離心力存在,也就不需設(shè)置平衡塊。而公轉(zhuǎn)型必須考慮動(dòng)渦旋的偏心質(zhì)量,設(shè)置平衡塊來平衡東渦旋盤的離心慣性力和離心慣性力矩,才能使機(jī)器平穩(wěn)工作。

  (5) 傾覆力矩和軸向力不同;剞D(zhuǎn)型渦旋機(jī)械由于兩渦旋盤都轉(zhuǎn)動(dòng),都承受同樣大小的傾覆力矩和氣體軸向力,在設(shè)計(jì)時(shí),需同時(shí)考慮軸向力推力、軸承載荷。而公轉(zhuǎn)型只有一個(gè)動(dòng)渦盤受傾覆力矩作用,所以只需考慮動(dòng)渦盤所受的傾覆力矩和軸向力。

3、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

  渦旋真空泵主要由5 個(gè)部件組成:

  ① 動(dòng)靜渦旋盤副與基座: 一個(gè)或幾個(gè)漸開螺旋線形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò),兩者之間保證180°相位差組成的一對(duì)渦旋盤副機(jī)構(gòu)。

 、 曲軸: 保證動(dòng)渦盤繞靜渦盤轉(zhuǎn)動(dòng)的偏心機(jī)構(gòu)。

  ③ 密封件: 保證動(dòng)、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

  ④ 防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu): 保證動(dòng)、靜盤180°相位差的機(jī)構(gòu)。

 、 電機(jī): 輸出約1500 r /min 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)。

  它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤,因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單,相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小,動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小,泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦,所以幾乎無磨損,運(yùn)行平穩(wěn),消耗功率小,氣體流動(dòng)損失小,工作可靠性高、壽命長(zhǎng),易于維修,維修費(fèi)用低,容積效率高。采用空氣冷卻,無需水冷。渦旋真空泵具有較高的壓縮比,在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速,由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的,因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小,功率變化小,振動(dòng)噪聲低,這是其他類型的干式真空泵所不具備的。

4、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

  渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:

 、 半導(dǎo)體行業(yè): 薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;

 、 科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;

 、 機(jī)械設(shè)備行業(yè): 材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;

 、 醫(yī)療設(shè)備行業(yè): 牙科儀器、透析機(jī); 生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;

 、 包裝行業(yè): 食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;

 、 真空冶金行業(yè): 真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。

  渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無油真空系統(tǒng)的最佳配置。