羅茨泵轉(zhuǎn)子間隙的分配
由于羅茨泵腔內(nèi)無(wú)油封,所以轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼(端蓋)之間存在一定的間隙。由于間隙的存在,會(huì)造成出口側(cè)向抽氣腔內(nèi)返流,使容積效率下降。羅茨泵的實(shí)際抽速要低于理論抽速。 即:
S=Sth-ΔS
其中ΔS包括以下幾項(xiàng)內(nèi)容,即
ΔS=ΔSF+ΔSSP+ΔSL+ΔSD
式中 ΔSF為充填損失,在抽氣過(guò)程進(jìn)行得非常快的時(shí)候,被抽氣體來(lái)不及充填吸氣腔,造成吸氣腔內(nèi)氣體密度降低,使抽速降低。
ΔSSP為間隙損失,經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)子的間隙由排氣腔向吸入腔返流的氣流量。
ΔSL為漏氣損失,由于泵體漏氣和軸端漏氣,有一定漏量進(jìn)入泵的吸氣腔,而使抽速下降。
ΔSD為吸附損失。由于在排氣側(cè)轉(zhuǎn)子表面吸附氣體轉(zhuǎn)到吸氣側(cè)表面氣體解吸或潤(rùn)滑油蒸發(fā)進(jìn)入泵腔,而引起抽速下降。
這些損失之和構(gòu)成抽氣損失ΔS。其中每一項(xiàng)在ΔS中所占的比例與泵的結(jié)構(gòu)和工作狀態(tài)有關(guān),特別是與吸入壓力和排氣壓力有關(guān)。在整個(gè)工作壓力范圍內(nèi)ΔSF和ΔSSP對(duì)抽速有所影響。然而ΔSL和ΔSD,在低壓力范圍內(nèi)才有意義。測(cè)量指出在10-1Torr時(shí),ΔSL+ΔSD之和在數(shù)量級(jí)上不超過(guò)理論抽速的1‰。因此這兩項(xiàng)可以忽略。
對(duì)于ΔSF來(lái)說(shuō),在吸氣過(guò)程中,由吸入口流進(jìn)吸氣腔的氣體量Q有最大理論值。
Qth=VOρs
對(duì)于快速的吸氣過(guò)程,被抽氣體的密度ρs,由于壓差的損失而減小到ρs'。因此ρs'= ρs-Δρs,從而和Qth相比流入的氣體量減少ΔQ。
一般轉(zhuǎn)子的圓周速度u在50m/s以下,經(jīng)實(shí)測(cè)其壓差損失相對(duì)值(對(duì)27℃空氣):
在u=30m/s時(shí) ΔPs/Ps=2.4E-3
在u=10m/s時(shí) ΔPs/Ps=0.28E-3
由此可見(jiàn),u值越高,則ΔPs/Ps就越大,即ΔSF/Sth值也越大。
在通常的圓周速度下工作ΔSF/Sth是很小的,故ΔSF和Sth相比只占6‰,故可以忽略不計(jì)。
這樣一來(lái),總的抽速損失ΔS,實(shí)際上只是由間隙返流損失ΔSsp來(lái)決定的。ΔSsp是通過(guò)一組間隙(圓周間隙、轉(zhuǎn)子間隙和端面間隙)的損失之和。
間隙損失的大小除與轉(zhuǎn)數(shù)、兩側(cè)的壓力及溫度有關(guān)外,還與間隙的尺寸有關(guān),一般間隙尺寸是很小的如表2和表3所示。
從表2可以看出:在位置1-6處,轉(zhuǎn)子與泵體的徑向間隙,測(cè)量的范圍在0.02mm之間。在7-10及15-18位置處,在轉(zhuǎn)子水平和垂直位置時(shí)軸承游動(dòng)端的公差相同。而在11-14及19-22位置為軸承固定端的水平和垂直位置的公差范圍相同,其值小于游動(dòng)端的公差,23-38位置間隙是均勻的,各點(diǎn)位置均處在相同范圍之內(nèi)。
羅茨泵的各間隙公差帶可以參考表3數(shù)值。值得注意的是對(duì)傳動(dòng)齒輪的側(cè)隙也有公差要求,因?yàn)樗鼤?huì)影響兩個(gè)轉(zhuǎn)子的相位差。
羅茨泵的實(shí)際抽速S可寫(xiě)成:
S=Sth-ΔSsp
式中可通過(guò)間隙的返流量來(lái)計(jì)算, 即:
其中為泵的各處間隙的總流導(dǎo)(l/s) ,P1,P2為泵入口壓力與出口壓力(Pa)
經(jīng)過(guò)代換,羅茨泵的實(shí)際抽速公式為:
根據(jù)氣流量恒等,可得到:SP1=SfP2,式中Sf為前級(jí)泵的抽速(l/s)
因此實(shí)際抽速S為:
羅茨泵的實(shí)際抽速S和理論抽速Sth、間隙總流導(dǎo)CB和前級(jí)泵抽速Sf有關(guān)。
羅茨泵的極限壓力是指泵口密封,長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn),在泵口所能達(dá)到的穩(wěn)定最低壓力P10,這時(shí)前級(jí)泵也達(dá)到了極限壓力P20,因?yàn)楸玫挠行С闅饬縌為零。即
由此可見(jiàn)羅茨泵的極限壓力與前級(jí)泵的極限壓力有關(guān)。
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