螺桿真空泵單頭等螺距內(nèi)凹轉(zhuǎn)子型線研究

2011-08-23 陳長(zhǎng)琦 合肥工業(yè)大學(xué)真空科學(xué)技術(shù)與裝備研究所

  基于螺桿嚙合原理, 通過數(shù)學(xué)推導(dǎo),得到單頭等螺距梯形內(nèi)凹型線的完整型線方程, 包括齒面方程、端面截形以及軸向截形。給出了面積利用系數(shù)公式以及理論抽速公式,討論了型線中各參數(shù)對(duì)干式螺桿真空泵的性能的影響。最后運(yùn)用Solidworks 軟件建模, 通過模擬嚙合,驗(yàn)證了型線方程的正確性—擁有完整的嚙合線,且嚙合運(yùn)轉(zhuǎn)過程中不會(huì)發(fā)生齒面干涉。

  20 世紀(jì)90 年代,隨著半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝的不斷發(fā)展, 對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來越高, 傳統(tǒng)的油封式機(jī)械泵的返油問題日益尖銳, 急需一種運(yùn)行穩(wěn)定可靠, 且抽氣腔內(nèi)完全無油的新型真空泵, 干式螺桿真空泵順應(yīng)而生。其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊, 運(yùn)行穩(wěn)定可靠,可直排大氣,抽氣腔內(nèi)完全無油等特點(diǎn)。

  干式螺桿真空泵的核心部件是一對(duì)相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子型線的優(yōu)劣直接影響到泵的整體性能、運(yùn)行的穩(wěn)定可靠以及制造成本。早期的螺桿真空泵型線多源自雙螺桿壓縮機(jī), 如多頭雙邊對(duì)稱圓弧型線,具有抽速大,結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn),但極限真空度低,轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)加工難度偏大, 逐漸被單頭型線所取代。單頭型線按照截面形狀分為單頭矩形截面型線和單頭梯形截面型線, 其中梯形截面型線在轉(zhuǎn)子齒根強(qiáng)度以及面積利用系數(shù)方面具有明顯的優(yōu)勢(shì)。單頭等螺距梯形內(nèi)凹型線是目前國(guó)內(nèi)外廠商最為常用的一種型線, 其綜合性能優(yōu)秀,密封性能良好,面積利用系數(shù)大, 且解決了轉(zhuǎn)子的齒面干涉問題,故為廣泛采用。

  螺桿轉(zhuǎn)子副嚙合是一種復(fù)雜的空間嚙合,為補(bǔ)償轉(zhuǎn)子的加工安裝誤差以及運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的受力受熱變形,兩轉(zhuǎn)子實(shí)際型線之間需預(yù)留一定的間隙值。為保證螺桿真空泵的氣密性, 轉(zhuǎn)子之間嚙合間隙均勻且保持一定值非常重要。而轉(zhuǎn)子的實(shí)際型線是在理論型線的基礎(chǔ)上沿嚙合點(diǎn)法線方向各減去預(yù)留間隙的一半而得到的。因此, 必須保證轉(zhuǎn)子的理論型線共軛,即在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中的任意時(shí)刻任意與端面平行截面上兩轉(zhuǎn)子至少有一點(diǎn)嚙合。故可以從螺桿轉(zhuǎn)子的端面型線出發(fā),研究螺桿轉(zhuǎn)子型線。

1、端面型線的組成及型線方程

  漸開線和擺線是轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)中常常選用的兩種基本型線,基圓半徑相等且延伸方向相反的一對(duì)漸開線( 擺線) ,是理想的共軛嚙合曲線。為了便于制造,常常將兩根螺桿的型線設(shè)計(jì)成參數(shù)相同,僅旋向相反。

螺桿轉(zhuǎn)子端面型線

圖1 螺桿轉(zhuǎn)子端面型線

  圖1 為一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子嚙合的端面型線圖,其主要參數(shù)有中心距a, 齒頂圓半徑Rt, 齒根圓半徑Rr, 生成圓半徑r0, 嚙合圓半徑r1以及螺桿導(dǎo)程P。其中Rr+Rt=a=2r1。
如圖1 所示, 以兩轉(zhuǎn)子端面軸心連線為y軸,向左為正方向,左側(cè)轉(zhuǎn)子軸心為原點(diǎn),建立右手直角坐標(biāo)系。端面型線由四部分組成,AB 段為半徑Rt的圓弧, 其對(duì)應(yīng)的角度為α1,BC 段為生成圓半徑為r0的漸開線, 其對(duì)應(yīng)的角度為α2,CD 段為半徑為Rr的圓弧,對(duì)應(yīng)的角度為α3,DA 段為擺線。所有角度均采用弧度制,下面給出該轉(zhuǎn)子端面型線方程。

7、結(jié)論

  螺桿轉(zhuǎn)子是螺桿真空泵的關(guān)鍵技術(shù)核心,本文基于螺桿嚙合原理, 從端面型線出發(fā), 推導(dǎo)出一種能夠有效密封且不會(huì)出現(xiàn)干涉的螺桿真空泵轉(zhuǎn)子型線,給出了完整的轉(zhuǎn)子端面構(gòu)成以及齒面方程和軸向截面方程;推導(dǎo)了螺桿真空泵的面積利用系數(shù)和抽速公式,并討論了相關(guān)參數(shù)的影響; 確定了螺桿的設(shè)計(jì)參數(shù), 并通過三維建模以及模擬嚙合, 驗(yàn)證了型線方程的正確性, 為干式螺桿真空泵的設(shè)計(jì)國(guó)產(chǎn)化提供了理論參考。

  本型線較為復(fù)雜,尤其是漸開線段及擺線段生成的空間螺旋曲面部分,其加工方法及刀具設(shè)計(jì)仍需進(jìn)一步討論。同時(shí),由于真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)過程中轉(zhuǎn)子會(huì)因受力變形、受熱膨脹, 如何確定兩轉(zhuǎn)子之間預(yù)留間隙值等問題將另文發(fā)表。