渦輪分子泵的應(yīng)用特點(diǎn)
1、工作壓力范圍寬,在 10-1 ~ 10-8 pa 范圍內(nèi)具有穩(wěn)定抽速;
2、起動(dòng)時(shí)間短,能抽除各種氣體和蒸氣;
3、分子泵適用于在要求清潔的高真空和超高真空的儀器及設(shè)備上使用。
也可用來(lái)作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級(jí)預(yù)抽真空泵使用,這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無(wú)碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。
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