活塞式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  活塞式無油真空泵技術(shù)要求不太復(fù)雜,容易制造,其結(jié)構(gòu)示意圖見圖 24 。

活塞式無油真空泵工作示意圖

圖24:活塞式無油真空泵工作示意圖

  該泵的外形呈扁方形,是由四個階梯形活塞及四個階梯形氣缸組成。與電機直聯(lián)的軸通過四根連桿帶動四個活塞。活塞的背面空間由次級活塞抽氣,以減少泄漏和降低極限壓力。

  每個氣缸都有進(jìn)氣閥與排氣閥。四個活塞組成三個壓縮級,為了增加抽速,活塞 1 和活塞 2 是并聯(lián)的,為了便于泵在大氣壓力下的啟動,設(shè)置了輔助排氣閥 1 ,當(dāng)活塞 l 、 2 的排氣壓力高于大氣壓力時,有一部分氣體通過閥 1 排入大氣,當(dāng)其排氣壓力低于大氣壓力時,則排出氣體依次進(jìn)入第三個、第四個氣缸壓縮后排出泵外。泵的壓縮比可達(dá)到 105 ,泵的極限壓力可達(dá) 1.3Pa 。

  泵氣缸的內(nèi)表面襯有聚合材料,以降低摩擦系數(shù)與磨損。這種泵的功率消耗低,散熱條件較好,不需要冷卻水。

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