渦旋式無(wú)油機(jī)械真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
渦旋式無(wú)油機(jī)械真空泵是從渦旋式壓縮機(jī)演變而來(lái)的一種新型的干式真空泵。
圖31：渦旋式真空泵工作原理圖
渦旋式無(wú)油機(jī)械真空泵的工作原理見圖 31 。構(gòu)成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線為漸開線。其結(jié)構(gòu)型式見圖 32 。
圖32：渦旋體結(jié)構(gòu)
固定的渦旋體稱定子，轉(zhuǎn)動(dòng)的渦旋體稱轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子無(wú)自轉(zhuǎn)而以一定的回轉(zhuǎn)半徑平動(dòng)公轉(zhuǎn)。隨著轉(zhuǎn)子的平動(dòng)公轉(zhuǎn)，在兩個(gè)渦旋體之間形成了吸氣腔和壓縮腔。吸入氣體后的工作腔的容積隨著轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)而縮小，從外圈向中心移動(dòng)排出氣體，連續(xù)完成了吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。
為了減輕泵渦旋體的重量，其基材用鋁，在表面上涂鍍一層特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蝕性。該泵渦旋體間相鄰工作腔的壓差小 , 故氣體泄露量小 , 泵的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩變化小，因此泵的噪昔低、振動(dòng)小。
該泵特點(diǎn)是重量輕、體積小，為臥式結(jié)構(gòu)，可以從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ，是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。
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