本文敘述了關(guān)于渦輪分子泵安全使用的一些技術(shù)問題.首先對渦輪分子泵的構(gòu)造特點(diǎn)作了介紹,其次對渦輪分子泵的故障類型、損壞原因,進(jìn)行了分析.最后從設(shè)計(jì)和使用上的安全對策進(jìn)行了討論,以便更好的使用渦輪分子泵.

【英文摘要】Some technological problems are discussed for the safe operation of turbomolecular pumps. According to the constructional characteristics and types and causes of possible troubles/damages of the pumps, what measures are to be taken and how to make them true are both analyzed in detail with the aim of safer operation, based on the design of different types of turbomolecular pumps and relevent operating procedures.

【正文快照】渦輪分子泵是1956年德國人W.Becker發(fā)明的一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械真空泵。它也是一種大抽速可獲得超高真空的新型分子泵。在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用和普及。1985年以來出現(xiàn)了一種工作壓力范圍更寬的大流量的復(fù)合式渦輪分子泵,它可代替擴(kuò)散泵+羅茨泵或渦輪分子泵+羅茨泵。

作 者: 楊乃恒

刊 名: 真空

英文刊名: VACUUM

年,卷(期): 2008 45(4)

分類號: TB752+.27

PDF下載：