無油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成：

    ①．動(dòng)靜渦旋盤付與基座；

    ②．曲軸；

    ③．密封墊；

    ④．防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；

    ⑤．電機(jī)。

    無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180^。相位差，這樣結(jié)合組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線(即橫截面渦旋線上的幾個(gè)點(diǎn))上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，使靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級(jí)無油渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)��?yīng)的靜渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，就有一組新的月牙腔形成，所以無油渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1500轉(zhuǎn)/分的頻率被連續(xù)重復(fù),對被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。

    眾所周知，無油渦旋真空泵(Oil free scrloo vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例，說明其差別：

表1 無油渦旋真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標(biāo)的對比