1．無(wú)油渦旋真空泵性能優(yōu)越

    無(wú)油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：

    ①.密封性良好,沒(méi)有向機(jī)械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達(dá)到較高的真空度。

    ②.回轉(zhuǎn)半徑小，動(dòng)靜渦旋盤(pán)相對(duì)滑動(dòng)速度僅為旋片真空泵的1/7左右，動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間的動(dòng)密封相對(duì)容易，有利于延長(zhǎng)泵的使用壽命。

    ③壓縮進(jìn)程必較緩慢，有2個(gè)或者3個(gè)壓縮過(guò)程同時(shí)進(jìn)行，壓縮腔相對(duì)曲軸對(duì)稱，這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程平穩(wěn)、驅(qū)動(dòng)力矩和氣體沖擊波動(dòng)小，使泵的噪音和振動(dòng)降低。

    總而言之，無(wú)油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間間隙小、泄漏少，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小,振動(dòng)噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。

2．無(wú)油渦旋真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題

    由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問(wèn)題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問(wèn)題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。

      半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測(cè)試儀器行業(yè)，采用油泵對(duì)測(cè)試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無(wú)油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無(wú)油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來(lái)的環(huán)境污染與煩惱。現(xiàn)有無(wú)油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可靠性。

3.無(wú)油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低

    為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無(wú)油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無(wú)油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。