無油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤付\曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機理是在動、靜渦旋盤相互不接觸的情況下，依靠動、靜渦旋盤相對轉(zhuǎn)動形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過程。在充分考慮抽氣過程中發(fā)生熱交換的情況下，盡量減少動、靜渦盤問的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度。

    針對無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)上存在著的運轉(zhuǎn)過程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點,加氣鎮(zhèn)閥是必要的選擇。

    結(jié)構(gòu)上的改進主要有兩點：

    ①．加氣鎮(zhèn)閥使極限真空度保持要求值——進氣壓力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下。

    ②．軸承端面加雙側(cè)密封圈密封，有效防止軸承磨損。

    在無油渦旋真空泵的設(shè)計過程中，需要解決的問題包括：

    ①．渦旋泵的CAD設(shè)計一一型線方程的確定及修正，初始角修正，運動模擬；

    ②．渦旋盤的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大小：抽速、極限真空度；

    ③．渦旋盤的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；

    ④．密封墊材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產(chǎn)生微粒。