羅茨泵與前級(jí)泵性能關(guān)系

2008-11-14 劍氣書生 真空技術(shù)網(wǎng)整理

            機(jī)組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān),而羅茨泵的性能又隨前級(jí)泵的不同而有所不同。

1)由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙,因此有返流存在,而這種返流受進(jìn)口壓力和出口壓力的影響,即使是同一臺(tái)羅茨泵,使用不同的前級(jí)泵時(shí),其抽氣速率也會(huì)有所不同。

  羅茨泵的抽氣速率可由下式確定:

   δ=δ0(P2/P1/K)

  式中:δ0-設(shè)計(jì)的抽氣速率;

     P1-進(jìn)口壓力;

     P2-出口壓力;

     K-固有常數(shù),由該泵轉(zhuǎn)子的形狀、間隙量、轉(zhuǎn)子圓周速度和出口壓力來確定。

  由上式可知,抽氣量受到出口壓力與進(jìn)口壓力之比的影響,亦即若增加前級(jí)泵的抽氣速率,那么羅茨泵的抽氣速率也會(huì)增大。

(2)極限壓力由泵的抽氣速率,各間隙的返流量,泵體泄漏量及高真空側(cè)的放氣量所決定。即:

   P0=(Q1+Q2+Q3)/δ

   式中:P0-極限壓力;

     δ-抽氣速率;

      Q1-返流量;

      Q2-泄漏量;

      Q3-放氣量。

  在這些參數(shù)中,Q1受排氣壓力即前級(jí)泵的極限壓力的影響很大,在用水環(huán)泵作前級(jí)泵時(shí),羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。

  圖6是用同一臺(tái)羅茨泵配不同的前級(jí)泵時(shí)的性能比較。

         

羅茨泵與前級(jí)泵性能關(guān)系
            從圖可見,前級(jí)泵的極限真空度愈高時(shí),機(jī)組的極限真空度也隨之增高;兩級(jí)羅茨泵串聯(lián)使用,則能提高機(jī)組的極限真空度(實(shí)質(zhì)上就是前一個(gè)羅茨泵為后一個(gè)羅茨泵的前級(jí)泵),且性能曲線平緩擴(kuò)大,也即使用的范圍擴(kuò)大(由曲線1與2,曲線3與5的比較而得)。機(jī)組1、2的曲線大致相同。同樣,機(jī)組3、4、5的曲線也有相同之處。然而1、2機(jī)組曲線和3、4、5機(jī)組曲線卻是完全不同的兩組曲線。這說明對(duì)于同一羅茨泵而言,選用不同的前級(jí)泵時(shí),其機(jī)組的性能曲線有本質(zhì)的差異。由此可見,前級(jí)泵對(duì)機(jī)組性能有相當(dāng)大的影響。