根據(jù)自動(dòng)機(jī)械的動(dòng)作要求，把若干個(gè)噴嘴、擴(kuò)張管副用串聯(lián)、并聯(lián)的混合方式連接起來(lái)，用以實(shí)現(xiàn)大排氣量和高真空度的復(fù)合式真空發(fā)生器的結(jié)構(gòu)如圖9 所示。它的真空發(fā)生過(guò)程與串聯(lián)式的完全相同。如果在結(jié)構(gòu)上把兩列噴嘴、擴(kuò)張管副完全隔離開(kāi)，用分配閥控制向兩列分別供氣、斷氣，這樣復(fù)合式真空發(fā)生器就完全具備大功率、大排氣量、高真空度和高效率的特性，應(yīng)該說(shuō)是比較理想的真空發(fā)生元件。

圖9：復(fù)合式真空發(fā)生器示意圖

        但是，由于其體積增的羅茨泵和1臺(tái)抽速為70L/s的旋片泵組成，由它完成對(duì)SFC高、低真空室從大氣到70Pa的粗抽，也要完成對(duì)SFc 高真空室單獨(dú)抽至10Pa。高真空系統(tǒng)由2臺(tái)抽速為1500L/s 的渦輪分子泵和1臺(tái)抽速150L/s的羅茨泵機(jī)組組成。超高真空系統(tǒng)由2臺(tái)抽速為20000L/s的/HIRFL-800低溫泵和1臺(tái)抽速10000L/S的低溫泵組成。分子泵與低溫泵共同安裝在一個(gè)泵室中，分子泵與低溫泵之間以及泵室與真空室之間分別由直徑為250mm和630mm 的超高真空閥門(mén)隔開(kāi)。從大氣抽至10Pa，大約需要20min。從10Pa到E-3Pa 由高真空系統(tǒng)的分子泵完成，約需要2h。當(dāng)真空度優(yōu)于3e-3Pa 時(shí)，低溫泵開(kāi)始工作。低溫泵工作10h后，在SFC真空室中心平面上可以獲得1.3E-5Pa的真空。

        SFC真空室從安裝到完成測(cè)磁工作，歷時(shí)6 個(gè)多月。真空室長(zhǎng)時(shí)間暴露于大氣之中，這樣對(duì)要想獲得1.3E-5Pa的真空度是較難的。最好的辦法就是烘烤。但由于真空室安裝后，與磁鐵、高頻腔部件、注入引出元件、束診元件等都連接在一起，再加上真空室形狀復(fù)雜，所以用常規(guī)的加熱帶、烘烤燈等方法來(lái)加熱，因受條件限制而無(wú)法實(shí)行。進(jìn)行分析后，決定采用熱水循環(huán)加熱的方法，對(duì)真空室內(nèi)部的線圈、覆面等那些在加速器運(yùn)行時(shí)需要用冷卻水的部件，在抽空時(shí)先用熱水循環(huán)，進(jìn)行烘烤。

        經(jīng)過(guò)計(jì)算，這部分部件在真空室中的表面積，要占整個(gè)真空室內(nèi)表面積的75%。加工了一套熱水循環(huán)系統(tǒng)，考慮到線圈是環(huán)氧澆鑄，水溫應(yīng)控制在80度左右。經(jīng)過(guò)10h熱水循環(huán)烘烤后，真空度從10E-5Pa進(jìn)入到10E-6Pa，證明了這種烘烤方法是可行的。