羅茨真空泵的分類與優(yōu)點
羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國,是為適應在 10 ~ 1000Pa 壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用。
根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為
1、低真空羅茨泵:直排大氣的干式單級羅茨泵(10000Pa)和濕式羅茨泵(2000Pa);
2、中真空羅茨泵:機械增壓泵(1×10-1 Pa);
3、高真空羅茨泵:多級干式羅茨泵(高真空多級羅茨泵;
國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵 (以下簡稱羅茨泵) 。
羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點:
1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;
3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
4、泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。
羅茨泵在真空工程領域中應用
1、在中真空范圍作為機械增壓泵應用,一般與前級泵(旋片泵,滑閥泵和水環(huán)泵等)串聯(lián)構成真空機組;
2、雙級或多級羅茨泵機組可獲得高真空;
3、對于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機組;
4、對于含水蒸氣的被抽系統(tǒng),多用濕式羅茨泵;