羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)與工作原理

2013-06-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  羅茨真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖如下圖所示。在泵腔內(nèi),有二個(gè)"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。

羅茨泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖

  由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理

  羅茨泵抽氣時(shí)兩個(gè)轉(zhuǎn)子由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng),作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無(wú)接觸,其間存在間隙。

羅茨泵的工作原理

羅茨泵的抽氣特點(diǎn)

  在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;

  轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙,泵腔內(nèi)運(yùn)動(dòng)件無(wú)摩擦,不必潤(rùn)滑,泵腔內(nèi)無(wú)油;

  轉(zhuǎn)子形狀對(duì)稱,動(dòng)平衡性能良好,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),選擇高精度的齒輪傳動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低;可獲得較高轉(zhuǎn)速(抽速);

  羅茨泵在抽氣過(guò)程中其工作空間容積是不變的,即“無(wú)內(nèi)壓縮”,這與大多數(shù)的變?nèi)菔秸婵毡貌煌?/p>

  氣體的排出:當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,封閉空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓力較高,則有一部分高壓氣體返沖到封閉空間中,使空間內(nèi)氣體壓強(qiáng)突然升高到排氣壓力,即所謂的“外壓縮過(guò)程”。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。