牽引分子泵和渦輪分子泵與擴(kuò)散泵在性能上有許多方面相似。擴(kuò)散泵中的被抽氣體分子在與蒸汽分子相碰撞過(guò)程中得到動(dòng)能。而分子泵的抽氣機(jī)理與容積式機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。

　　通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。

牽引分子泵的分類(lèi)

　　第一類(lèi)：有整體的運(yùn)動(dòng)表面(圓筒型、圓錐型或圓盤(pán)型)，當(dāng)氣體分子在運(yùn)動(dòng)表面(轉(zhuǎn)子)和靜止表面(定子)間多次反射時(shí)，運(yùn)動(dòng)將他們牽引到泵的排氣側(cè)。

　　第二類(lèi)：有一系列類(lèi)似于軸流壓縮機(jī)的葉片。每個(gè)壓縮機(jī)由一個(gè)動(dòng)盤(pán)和一個(gè)靜盤(pán)組成。這后一種結(jié)構(gòu)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是同一表面不會(huì)周期性地暴露于高壓強(qiáng)下和低壓強(qiáng)下。

幾種牽引分子泵的結(jié)構(gòu)示意圖

Gaede牽引分子泵的結(jié)構(gòu)原理圖

　　Gaede牽引分子泵的結(jié)構(gòu)原理圖如上所示，泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開(kāi)。每一個(gè)溝槽就相當(dāng)于一個(gè)單級(jí)分子泵，后一級(jí)的入口與前一級(jí)的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級(jí)泵抽走。

　　牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是起動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。

　　牽引分子泵的缺點(diǎn)：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障等，因此除特殊需要外，實(shí)際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡(jiǎn)單，抽速大的擴(kuò)散泵所代替。

　　牽引分子泵的入口壓強(qiáng)為1Pa，特殊構(gòu)造的可超出1Pa，并能向大氣排氣，這樣的泵不適于反復(fù)迅速排氣，只適于粗抽后的連續(xù)排氣。由于排氣量低，容易卡住，所以牽引分子泵應(yīng)用較少。