分子泵機(jī)組控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
在高功率激光器系統(tǒng)中,使用空間濾波器是抑制光束高頻成分的非線性增長(zhǎng)、改善光束傳輸質(zhì)量的有效措施之一。激光束在到達(dá)濾波器小孔位置時(shí)會(huì)發(fā)生空氣擊穿,因此管道內(nèi)必須達(dá)到一定的高真空,通過(guò)對(duì)選用的分子泵機(jī)組內(nèi)部控制電路的研究分析,設(shè)計(jì)了一套控制方案,很好地滿足了空間濾波器特定的使用要求。
空間濾波器由一對(duì)共焦正透鏡和共焦的濾波小孔組成,基本結(jié)構(gòu)見(jiàn)(圖1),清潔空氣的擊穿閾值為107w/cm2,當(dāng)激光的功率密度超過(guò)109w/cm2時(shí),需要抽高真空至1×10-3Pa,在不進(jìn)行全系統(tǒng)烘烤的情況下,分子泵組全速運(yùn)轉(zhuǎn)一段時(shí)間后系統(tǒng)真空度可達(dá)10-5Pa,過(guò)高的真空度會(huì)加速管道內(nèi)部電纜、潤(rùn)滑脂的蒸發(fā),進(jìn)而影響光學(xué)元件表面的潔凈度,因此,真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.mp99x.cn/)認(rèn)為我們需要研制相應(yīng)的控制系統(tǒng),將真空度控制在一定范圍內(nèi),既要保證激光器系統(tǒng)的正常運(yùn)行,又能減小內(nèi)部各類材料的蒸發(fā)量。
圖1 空間濾波器示意圖
2、方案設(shè)計(jì)
為了實(shí)現(xiàn)高真空度的可控,最簡(jiǎn)單的辦法就是降低高真空泵對(duì)真空腔體的抽速,可以采用以下兩種方案:
(1)在泵體與管道間增加一臺(tái)開(kāi)啟量可控閥門,通過(guò)控制閥門開(kāi)啟的大小來(lái)控制系統(tǒng)抽速;
(2)不增加其他設(shè)備,僅調(diào)節(jié)分子泵的轉(zhuǎn)速來(lái)控制系統(tǒng)抽速。比較后我們選用了第二種方案,由于真空計(jì)和分子泵控制器均自帶RS485通訊端口,利用真空計(jì)監(jiān)測(cè)管道內(nèi)真空度,由工控機(jī)實(shí)時(shí)讀取真空值,當(dāng)讀數(shù)超過(guò)設(shè)定值時(shí),工控機(jī)控制分子泵控制器調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,由此形成閉環(huán)控制系統(tǒng),見(jiàn)(圖2)。
圖2 控制設(shè)計(jì)
3、控制流程設(shè)計(jì)
(圖3)首先需要為控制系統(tǒng)設(shè)定3個(gè)參數(shù):穩(wěn)定運(yùn)行所需的真空值、每次條件判斷后調(diào)整的轉(zhuǎn)速值和延遲時(shí)間,需要注意的是,由于分子泵達(dá)到10-3Pa后真空值下降非常緩慢,對(duì)泵體調(diào)速后觀察到真空值變化也需要一定時(shí)間,所以t的設(shè)定需要經(jīng)過(guò)多次測(cè)試才能滿足使用要求,減小真空值的波動(dòng)。
圖3 流程設(shè)計(jì)
4、實(shí)驗(yàn)
TV551系列分子泵最小的可調(diào)轉(zhuǎn)速為1000rpm,為了保證控制精度,我們就取其最小值,空間濾波器日常運(yùn)行所需真空值設(shè)定為2×10-3Pa,每次設(shè)定t值后觀察24小時(shí)內(nèi)真空值的變化量,結(jié)果顯示,當(dāng)延時(shí)設(shè)定在15min時(shí),系統(tǒng)真空值變化量最小(表1)。
表1
5、結(jié)語(yǔ)
通過(guò)對(duì)分子泵機(jī)組控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì),并經(jīng)過(guò)測(cè)試不斷改進(jìn)參數(shù)值,我們成功實(shí)現(xiàn)了對(duì)空間濾波器內(nèi)部真空值的穩(wěn)定控制,誤差波動(dòng)范圍在±10%以內(nèi),滿足了整個(gè)裝置正常運(yùn)行的要求。