現(xiàn)代渦輪分子泵的進(jìn)展

2013-11-12 巴德純 東北大學(xué)

  本文敘述了渦輪分子泵近期迅速發(fā)展的原因,渦輪分子泵采用的軸承型式的演變過程,寬域型復(fù)合分子泵的開發(fā)與磁懸浮軸承在渦輪分子泵上的應(yīng)用。

  自從1957 年德國(guó)W.Becker 發(fā)明渦輪分子泵以來,科學(xué)技術(shù)經(jīng)過幾十年不斷進(jìn)步,渦輪分子泵相應(yīng)的也得到了不斷的改進(jìn)和創(chuàng)新。無(wú)論在結(jié)構(gòu)或性能上都出現(xiàn)了許多新的特點(diǎn):智能、靈活和高效。在產(chǎn)品的質(zhì)量和技術(shù)水平上都有長(zhǎng)足的進(jìn)步。

  動(dòng)平衡技術(shù)與減震技術(shù)的發(fā)展,使渦輪分子泵可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。由于材料科學(xué)的進(jìn)展,渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子部分可用鋁合金、鈦合金以及碳纖維等高強(qiáng)度材料制成,使得轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進(jìn)一步的提高。葉列的切線速度幾乎可達(dá)一般氣體的最可幾速度的水平,因而,泵的主要性能:抽速和壓縮比得到很大提高。由于泵對(duì)碳?xì)浠衔锏戎貧怏w的壓縮比很大,難以返回到泵的入口,故可獲得無(wú)油清潔的真空環(huán)境。變頻技術(shù)的發(fā)展,使渦輪分子泵動(dòng)力源的頻率可方便調(diào)控?刂茊卧杉苫。

  磁懸浮技術(shù)的發(fā)展,磁懸浮軸承在渦輪分子泵上很快得到應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)了無(wú)接觸式的支撐,使泵的損耗低、效率高、震動(dòng)噪音極低,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性,有些泵的工作壽命高達(dá)20 萬(wàn)小時(shí)。由于這種軸承無(wú)需潤(rùn)滑,泵可作任意方向安裝。采用氣體凈化技術(shù),渦輪分子泵可抽除有腐蝕性的氣體,滿足了某些特殊工藝的要求。

  控制理論與信息技術(shù)的進(jìn)步,實(shí)現(xiàn)電腦控制,使渦輪分子泵實(shí)現(xiàn)智能化、靈活控制,可遠(yuǎn)距離實(shí)現(xiàn)泵的啟動(dòng)、停車和調(diào)速,具有完善的監(jiān)控系統(tǒng),使泵達(dá)到了一個(gè)新的水平。數(shù)控加工技術(shù)的進(jìn)步,使渦輪分子泵走上了精細(xì)加工的道路,轉(zhuǎn)子可整體加工保證了產(chǎn)品的質(zhì)量和精度,使結(jié)構(gòu)緊湊,產(chǎn)品小型化。需要渦輪分子泵的抽氣量擴(kuò)大,工作壓力范圍從分子流過渡到中間流或粘滯流區(qū)域,為此研發(fā)了寬域型復(fù)合分子泵。

  因特殊工藝的需要,市場(chǎng)出售一種在入口側(cè)可獲得高真空而前級(jí)側(cè)可直接對(duì)大氣進(jìn)行排氣的真空泵。這種泵在結(jié)構(gòu)上采用渦輪級(jí)葉片,牽引級(jí)螺旋抽氣通道以及渦旋級(jí)小葉片多級(jí)串聯(lián)的組合形式,是分子泵的一種延伸(如圖1 所示)。

直排大氣高真空干泵 圖2 1 軸控制型渦輪分子泵

圖1 直排大氣高真空干泵 圖2 軸控制型渦輪分子泵

1.泵口法蘭; 2.保護(hù)軸承;3.永久磁鐵; 6.馬達(dá); 8.振動(dòng)傳感器;10.機(jī)械減振器; 11.軸向磁軸承;13.泵出口法蘭

1、渦輪分子泵迅速普及的原因

  渦輪分子泵具有如下優(yōu)點(diǎn):

  (1)它可連續(xù)排氣;

  (2)易獲得清潔的超高真空;

  (3)對(duì)一般氣體,抽速幾乎相同;

  (4)操作與維護(hù)簡(jiǎn)單,維修周期長(zhǎng);

  (5)啟動(dòng)和停車時(shí)間短;

  (6)振動(dòng)與噪音低。

  提高渦輪分子泵轉(zhuǎn)子葉片的線速度,可使泵的抽速和壓縮比增加。在回轉(zhuǎn)體應(yīng)力許可的范圍內(nèi),盡量采用高速回轉(zhuǎn)。對(duì)于小型渦輪分子泵,徑向尺寸小,要滿足高的葉片線速度就必須增大轉(zhuǎn)數(shù),如每分鐘可達(dá)7~9 萬(wàn)轉(zhuǎn)。這樣高速回轉(zhuǎn)機(jī)械的可靠運(yùn)轉(zhuǎn)要特別重視。對(duì)渦輪分子泵來說,它的軸承系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)是關(guān)鍵部位,必須要很好重視。

  在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,以前常用的超高真空泵,主要是低溫泵擴(kuò)散泵,F(xiàn)在多被渦輪分子泵所取代。其原因是:渦輪分子泵可靠性提高了。半導(dǎo)體制造業(yè)用的真空泵必須滿足如下三個(gè)條件:

  (1)容易獲得清潔的超高真空;

  (2)泵要能連續(xù)地排氣,提高設(shè)備的利用率;

  (3)泵要操作簡(jiǎn)單,工作可靠。

  渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)1、2 和4 項(xiàng)能滿足上述的三個(gè)要求,在半導(dǎo)體制造行業(yè)得到迅速普及應(yīng)用。

  擴(kuò)散泵和渦輪分子泵都能連續(xù)排氣。但不同的是油擴(kuò)散泵抽氣,會(huì)使抽氣管道中有大量的油蒸汽存在,污染真空系統(tǒng),所以半導(dǎo)體制造工藝中很少采用擴(kuò)散泵了。

  低溫泵的抽速很大,且容易獲得清潔的超高真空。這是低溫泵的最大優(yōu)點(diǎn)。但它是捕集式真空泵,不能連續(xù)排氣。在排除大量工藝氣體時(shí),工作周期短,必須進(jìn)行再生處理,使設(shè)備的生產(chǎn)效率降低了。特別是在抽除危險(xiǎn)性氣體的工藝過程中,再生作業(yè),還伴隨有危險(xiǎn)性存在。因而也就被渦輪分子泵取而代之了。

2、渦輪分子泵軸承型式的改進(jìn)

  如上所述,渦輪分子泵可靠性高,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的高速運(yùn)轉(zhuǎn),是與軸承的不斷改進(jìn)密切相關(guān)的。渦輪分子泵使用的軸承,有如下幾種型式。

渦輪分子泵使用的軸承的幾種型式

  (1)磁力軸承(磁懸浮軸承)

  磁懸浮軸承是現(xiàn)代渦輪分子泵軸承型式的主流。其原因是磁力軸承與其他類型的軸承相比,它具有很多優(yōu)點(diǎn)。國(guó)內(nèi)外對(duì)磁力軸承的開發(fā)十分重視,如將磁力軸承型渦輪分子泵的可靠性進(jìn)一步提高,成本進(jìn)一步下降,它才能得到大面積的推廣應(yīng)用。

  磁力軸承有以下優(yōu)點(diǎn):

 、 不用任何潤(rùn)滑油,可實(shí)現(xiàn)完全無(wú)油的真空泵;

 、 不存在潤(rùn)滑部分,軸承壽命非常長(zhǎng),甚至不需要維修;

 、 振動(dòng)及噪音極低;

 、 泵的安裝姿勢(shì)不受限制, 可任意角度安裝;

  ⑤ 軸承部分用干燥氣體凈化,可在腐蝕性氣霧中使用。

  軸承的這些特點(diǎn)和渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn),綜合起來,構(gòu)成的磁懸浮渦輪分子泵,在現(xiàn)代半導(dǎo)體行業(yè),各種鍍膜工藝設(shè)備和現(xiàn)代理化儀器上得到廣泛應(yīng)用。

  渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子重心有6 個(gè)自由度,除泵沿軸線轉(zhuǎn)動(dòng)之外,用5 組電磁鐵控制5 個(gè)自由度的稱為5 軸控制型渦輪分子泵。若在軸向用永久

  磁鐵來使其運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定的泵稱為4 軸控制型渦輪分子泵。用一組軸向控制的電磁鐵和兩組徑向控制的電磁鐵組成的泵,稱為3 軸控制型的渦輪分子泵?坑谰么盆F吸引力或用反作用力,使徑向穩(wěn)定,在軸承上僅用一組電磁鐵的稱為1 軸控制型渦輪分子泵。

  為了降低泵的價(jià)格,傳感器小型化,控制軸數(shù)減少也是發(fā)展的動(dòng)向,這些年來國(guó)外一些公司出售的300~500 L/s 的1 軸控制型的渦輪分子泵所示。

  (2)滾珠軸承

  磁軸承型渦輪分子泵是急待普及的一種型式,而價(jià)格便宜的油或脂潤(rùn)滑式的滾珠軸承仍在采用,如大型的渦輪分子泵用油潤(rùn)滑的陶瓷軸承。渦輪分子泵用油潤(rùn)滑軸承,會(huì)出現(xiàn)油分子返流。雖然從渦輪分子泵的抽氣原理得知:渦輪分子泵對(duì)油的返流很少,幾乎達(dá)到可忽略的程度。

  但用油勢(shì)必有油污染的可能性。渦輪分子泵的最大市場(chǎng)是半導(dǎo)體制造業(yè),要求系統(tǒng)干式化。而有油潤(rùn)滑的渦輪分子泵,由于有油分子在泵內(nèi)流動(dòng),有油池存在,難以實(shí)現(xiàn)泵的小型化,對(duì)泵的安裝姿態(tài)受到限制,只能垂直安裝。為了解決這些問題曾一度開發(fā)了脂潤(rùn)滑式的滾珠軸承型的渦輪分子泵,可實(shí)現(xiàn)小型化,安裝方向不受限制。最近使用陶瓷球滾珠軸承的較多,維修周期可在兩年以上。

  (3)靜壓氣體軸承

  這種軸承的渦輪分子泵是為核聚變裝置上使用而開發(fā)的。它采用靜壓氣體軸承是因?yàn)樵诤司圩冄b置上使用油潤(rùn)滑軸承,氚會(huì)使?jié)櫥蛺夯。用磁力軸承,由于強(qiáng)力磁場(chǎng)的存在,難以使轉(zhuǎn)子穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。強(qiáng)磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子會(huì)產(chǎn)生渦流而發(fā)熱,可引起葉片膨脹和轉(zhuǎn)數(shù)下降。為了避免這些問題的出現(xiàn),把泵的轉(zhuǎn)子做成陶瓷的使其不受強(qiáng)磁場(chǎng)的影響,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用氣體透平機(jī),實(shí)現(xiàn)了不用潤(rùn)滑油和磁場(chǎng)的真空泵。

  (4)組合型軸承

  用不同形式軸承組合的渦輪分子泵,市場(chǎng)上出售的有如下三種:

  ① 泵的上部配置永久磁鐵的徑向軸承,在泵的下側(cè)配置樞軸承,以負(fù)擔(dān)軸向和徑向負(fù)荷的渦輪分子泵,如圖3 所示。由于樞軸承用油潤(rùn)滑,必須直立安裝。由于滑動(dòng)部分做得極小,和磁懸浮軸承渦輪分子泵有同等程度的振動(dòng)和長(zhǎng)壽命,成本也下降了。

 、 把上部磁力軸承做成2 軸控制型,下部配置樞軸承的渦輪分子泵。

 、 上部軸承使用永久磁鐵軸承,下部軸承采用燈芯給油式的滾珠軸承,安裝位置可由垂直向水平方向傾斜。這種軸承,上側(cè)軸承為永磁型不用維修,維修只有下部的滾珠軸承。這種軸承給油也簡(jiǎn)單。

3、寬域型復(fù)合分子泵的開發(fā)

  普通的渦輪分子泵在分子流范圍內(nèi)工作,效率高,排氣良好。當(dāng)遇到大流量的氣體負(fù)荷時(shí),流動(dòng)狀態(tài)也變化了,泵要適應(yīng)工作壓力領(lǐng)域的拓寬,否則抽速要下降,吸氣口壓力要上升。為了補(bǔ)救這個(gè)缺點(diǎn),開發(fā)了寬域型復(fù)合分子泵,將渦輪分子泵葉片和牽引分子泵的葉輪綜合起來實(shí)現(xiàn)寬域抽氣,如圖4 所示。這種轉(zhuǎn)子在分子流范圍內(nèi)能有效地排氣,再串以螺旋槽式通道使之從過渡流到粘滯流范圍也能有效地排氣,使工作壓力范圍向高壓側(cè)擴(kuò)張成為可能。

寬域型復(fù)合分子泵的開發(fā)

圖3 永久磁鐵+ 樞軸承式的渦輪分子泵

1.金屬保護(hù)網(wǎng);2.磁軸承;3.保護(hù)裝置;4.馬達(dá);5.樞軸承;6.空冷用風(fēng)扇;7.排氣口;8.吸氣口;9.整體式轉(zhuǎn)子;10.靜葉列;11.動(dòng)葉列

圖4 寬域型復(fù)合分子泵

  寬域型復(fù)合分子泵有兩個(gè)特點(diǎn):

  (1)數(shù)百Pa 的背壓,保持完全的壓縮能力,

  (2)大量氣體流過泵時(shí)復(fù)合分子泵的入口壓力仍保持很低。

  這種泵的背壓高,前級(jí)泵的容量可以縮小,寬域復(fù)合式分子泵使用成本低,占地面積小,排氣系統(tǒng)緊湊,適于大流量時(shí)的排氣。

  在半導(dǎo)體工藝裝備中,如刻蝕裝置和CVD裝置等的排氣系統(tǒng)中,要求工藝壓力保持很低,還要有大量反應(yīng)氣體流過,如圖5 所示。由于該泵軸流葉列級(jí)數(shù)少,與一般渦輪分子泵相比, 對(duì)輕氣體的壓縮比較低,極限壓力也少許高一點(diǎn)。

4、磁懸浮軸承在渦輪分子泵上的應(yīng)用

  從字面上理解該軸承就是利用磁力把物體懸浮在空間,回轉(zhuǎn)體與軸承無(wú)接觸,無(wú)需潤(rùn)滑的軸承,因此可獲得低振動(dòng),低噪音和清潔的工作環(huán)境。

  剛體在空間支承時(shí),它有三個(gè)平動(dòng)的自由度和三個(gè)回轉(zhuǎn)的自由度,要支持這個(gè)剛體,必須對(duì)這6 個(gè)自由度加以控制。

  對(duì)于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子沿軸線回轉(zhuǎn)的自由度不能限制,否則轉(zhuǎn)子就不能工作了。因此對(duì)回轉(zhuǎn)體有5 個(gè)自由度要加以控制。對(duì)于磁軸承來說其支持力可用永久磁鐵或電磁鐵的磁力來實(shí)現(xiàn)。若回轉(zhuǎn)不穩(wěn)定就要用電磁鐵實(shí)行控制使其穩(wěn)定,這種類型的磁軸承稱作控制型或能動(dòng)型的。對(duì)全軸進(jìn)行控制的則稱為五軸控制型的。如圖6 所示為磁軸承的基本結(jié)構(gòu)。

磁懸浮軸承在渦輪分子泵上的應(yīng)用

圖5 使用反應(yīng)氣體的半導(dǎo)體制造的真空裝置的工作條件

1.離子注入; 2 . 反應(yīng)蒸發(fā)離子噴鍍; 3 . 反應(yīng)濺射; 4 . RIE ;5.P 刻蝕; 6.PCVD;7.LPCVD

圖6 5 軸控制型磁軸承的基本構(gòu)造示意

  回轉(zhuǎn)體的半徑方向上備有8 個(gè)電磁鐵(①~⑧為徑向磁軸承),軸向上各有2 個(gè)電磁鐵(⑨和⑩為軸向磁軸承)。除了軸的旋轉(zhuǎn)自由度外,能夠主動(dòng)的控制5 個(gè)自由度(3 個(gè)重心移動(dòng)的自由度,2 個(gè)重心轉(zhuǎn)動(dòng)的自由度),構(gòu)成了將回轉(zhuǎn)體支承在空間的結(jié)構(gòu)。

  位移傳感器位于幾乎和電磁鐵相同的位置上,可以隨時(shí)檢測(cè)回轉(zhuǎn)體的狀態(tài),利用電磁鐵的反饋控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)各電磁鐵線圈的電流。即調(diào)節(jié)電磁鐵的吸引力使回轉(zhuǎn)體支承在中心位置上。使用渦流型或電感型位移傳感器的磁軸承渦輪分子泵的剖面如圖7 所示。

磁軸承渦輪分子泵剖面圖

1).吸氣口法蘭;(2).靜葉片; (3).隔板;(4). 驅(qū)動(dòng)軸;(5). 高頻電機(jī)定子;(6). 排氣口;(7). 滾珠軸承;(8). 傳感器;(9). 止推磁力軸承;(10). 傳感器;(11). 下部徑向磁力軸承;(12). 電源導(dǎo)入接頭;(13).上部徑向磁力軸承;(14).傳感器;(15).滾珠軸承(無(wú)潤(rùn)滑);(16).轉(zhuǎn)動(dòng)葉片;(17).保護(hù)網(wǎng)

圖7 磁軸承渦輪分子泵剖面圖

  磁軸承的負(fù)載能力與電磁鐵的最大吸引力有關(guān)。電磁鐵各部件及所需的吸引力取決于回轉(zhuǎn)體的重量。

  作為驅(qū)動(dòng)力的電磁鐵的吸引力由下式表示

電磁鐵的吸引力

  式中F———吸引力;μ0———真空導(dǎo)磁率;A———磁極面積;NI———激磁力(線圈匝數(shù)×激磁電流);l———磁路長(zhǎng)度;μr———磁極的比導(dǎo)磁率;δ———空隙的長(zhǎng)度;v———漏磁系數(shù)

  圖8 中回轉(zhuǎn)軸的上下有兩個(gè)電磁鐵的激磁線圈并通以電流,回轉(zhuǎn)軸被非接觸式支承著。

徑向軸承控制系統(tǒng)的示意圖

圖8 徑向軸承控制系統(tǒng)的示意圖

  回轉(zhuǎn)軸的質(zhì)量為m,上下電磁鐵與回轉(zhuǎn)軸之間的間隙為Xa 和Xb,上下電磁鐵通過的電流為ia 和ib。僅在垂直方向上1 個(gè)自由度系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)方程式可寫成:

自由度系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)方程式

  其中兩電磁鐵合成的吸引力Fm 為

兩電磁鐵合成的吸引力

  式中μ0、S、N 分別為真空導(dǎo)磁率,磁鐵斷面積及激磁線圈的匝數(shù),當(dāng)轉(zhuǎn)子處于平衡時(shí),間隙和激磁電流為Xa0、ia0、Xb0 和ib0。

間隙和激磁電流

  徑向軸承在平衡狀態(tài)時(shí)處于間隙中央位置Xa0=Xb0。Δx 的變化使Δi 相應(yīng)變化;剞D(zhuǎn)軸向下移動(dòng)的話,用位移傳感器探測(cè)出這個(gè)移動(dòng)量,由相位校正回路,直線檢波回路,功率放大器構(gòu)成控制回路,使上側(cè)的電磁鐵的激磁電流增加,吸引力相應(yīng)增大,回轉(zhuǎn)體軸被上拉復(fù)位?刂苹芈分胁捎玫奈灰苽鞲衅魇欠墙佑|變位計(jì)或用電感型位移傳感器。

  磁軸承渦輪分子泵內(nèi)裝高頻電機(jī)用的變頻電源,控制回路,保護(hù)用的蓄電池。為了避免徑向傳感器輸出功率的溫度浮移或?yàn)榱双@得更寬的直線工作范圍,常常對(duì)置一對(duì)傳感器。軸向傳感器由于結(jié)構(gòu)原因而單獨(dú)使用。

  圖9 給出了徑向磁力軸承和軸向磁力軸承的原理圖。

徑向和軸向磁力軸承的原理圖

①激磁線圈;②定子磁軛;③位移傳感器;④軸⑤轉(zhuǎn)子磁軛;⑥定子磁軛;⑦激磁線圈;⑧激磁線圈

圖9 徑向和軸向磁力軸承的原理圖

  軸承的負(fù)荷容量依賴于電磁鐵的最大吸引力。電磁鐵結(jié)構(gòu)如圖10 所示。對(duì)于徑向軸承的磁極面積A 及激磁力NI 為:

徑向軸承的磁極面積A 及激磁力

  式中α———磁極角(弧度,57.29578°);hR———(軸承寬)積層厚度;D0———定子內(nèi)徑;D1———定子線圈外徑;σ———線圈電流密度;η———線圈的充填系數(shù)(占空因數(shù))

軸承電磁鐵的構(gòu)造

圖10 軸承電磁鐵的構(gòu)造

  對(duì)于軸向軸承的磁極面積和激磁力為

軸向軸承的磁極面積和激磁力

  式中d0,d3———定子軛鐵的內(nèi)徑及外徑;d1,d2———線圈的內(nèi)徑及外徑;hT———軛鐵的深度

  這里的磁通量NI 用(4)式表示磁路中的磁通密度B,考慮最大吸引力時(shí)不飽和,它由NI 決定

軸向軸承的磁極面積和激磁力

  根據(jù)上述公式可以決定電磁鐵的必要尺寸和參數(shù)。圖11 為徑向電磁鐵負(fù)荷容量的計(jì)算例題。

徑向電磁鐵負(fù)荷容量實(shí)例

圖11 徑向電磁鐵負(fù)荷容量實(shí)例

  一般電磁鐵的最大負(fù)荷容量對(duì)徑向軸承單位面積平均為50 N,對(duì)軸向軸承單位面積平均為80 N 左右。

  軸承除負(fù)荷之外還有損失的問題;剞D(zhuǎn)體越大,磁軸承損失引起的回轉(zhuǎn)體發(fā)熱越大。

  一般控制型磁軸承的損失,通常比機(jī)械式軸承的損失要小很多。但泵轉(zhuǎn)子在真空中非接觸回轉(zhuǎn),周圍沒有流體的熱傳導(dǎo),故回轉(zhuǎn)體的熱量無(wú)法傳走,越積越多,使溫度上升,只能靠輻射冷卻來平衡軸承的損失,這種冷卻效果很小,所以必須降低軸承的損失。

  電磁鐵的損失如下式表示

電磁鐵的損失

  式中ρ———比電阻;Ke,Kh 為常數(shù);Bm———最大磁通密度;d———硅鋼片厚度;f———頻率

  上式右側(cè)第一項(xiàng)為渦流損失,第二項(xiàng)為磁滯損失。渦流損失如圖12 所示。

渦流損失發(fā)生原理

圖12 渦流損失發(fā)生原理

  渦輪分子泵臥式配置時(shí)回轉(zhuǎn)體的自重要徑向軸承來承擔(dān),增加磁通量,損失增大了,圖13給出電磁鐵的不同配置方式;剞D(zhuǎn)體的重量和軸承的損失關(guān)系如圖14 所示。

橫臥放置的徑向軸承的電磁鐵的配置和支持力

圖13 橫臥放置的徑向軸承的電磁鐵的配置和支持力

  為了降低軸承的損失,磁鐵設(shè)計(jì)時(shí)要精心考慮。

  渦輪分子泵高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉列,無(wú)論發(fā)生哪種意想不到的事故(如停電,斷水等)都會(huì)引起致命的破壞;特別是磁力軸承,安全措施必須完備。

安裝姿勢(shì)和軸承損失的關(guān)系

圖14 安裝姿勢(shì)和軸承損失的關(guān)系

  圖15 為渦輪分子泵導(dǎo)入大氣試驗(yàn)。從圖中可見,吸氣口導(dǎo)入大氣后壓力上升,回轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)數(shù)從額定轉(zhuǎn)數(shù)445 rps 減到45 rps。軸承溫度和軸向變位卻影響不大。

渦輪分子泵大氣導(dǎo)入的試驗(yàn)結(jié)果

圖15 渦輪分子泵大氣導(dǎo)入的試驗(yàn)結(jié)果

  以上以磁懸浮渦輪分子泵為重點(diǎn),概述了現(xiàn)代渦輪分子泵的進(jìn)展。由于掌握近期的資料較少,一定有很多錯(cuò)誤,望指正為盼。