擴(kuò)散泵油的返油過程示意圖

2019-10-05 鬼馬 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　擴(kuò)散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下運(yùn)動(dòng)，由于隨機(jī)的散射或帶方向性的放射，從噴嘴噴出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移動(dòng)，這樣就形成了返流;返流是擴(kuò)散泵系統(tǒng)的主要污染!

擴(kuò)散泵油的返油過程示意圖

　　因此，為了減少返流，在噴嘴和被抽系統(tǒng)之間通常加上合適的捕集裝置;例如：加上水冷的捕集器，可以使返流降低50%，而同時(shí)泵的抽速也只是降低10%左右,不幸的是，捕集返流的效率越高，對(duì)泵抽速的影響就會(huì)越大;例如：一個(gè)用水或液氮冷卻的幾乎可以完全捕集返流的裝置，可能會(huì)使抽速降低30% !