擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的前級(jí)泵可用羅茨泵-旋片泵組合，羅茨泵-滑閥泵組合，單獨(dú)用旋片泵或羅茨泵等幾種形式。油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，壽命長(zhǎng)，價(jià)格便宜，是目前使用范圍最廣的一種真空獲得設(shè)備。

　　根據(jù)被抽容器的容積可以粗略檢查擴(kuò)散泵機(jī)組選用的是否合理，一般可按表1中所示進(jìn)行粗選。

表1 擴(kuò)散機(jī)械泵真空機(jī)組對(duì)應(yīng)被抽容積

　　擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)可以適當(dāng)?shù)匮b備一些傳感器，當(dāng)萬(wàn)一出現(xiàn)操作失誤或系統(tǒng)有漏孔、冷卻不善及擴(kuò)散泵泵液不足時(shí)，這些傳感器可發(fā)出信號(hào)將系統(tǒng)關(guān)掉或使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)。真空系統(tǒng)中的氣動(dòng)閥和電磁閥應(yīng)能在設(shè)備發(fā)生故障時(shí)立即動(dòng)作，使系統(tǒng)處于安全狀態(tài)下。在壓縮空氣或電源發(fā)生故障時(shí)，要關(guān)閉除粗抽泵的放氣閥以外的所有閥門(mén)。粗抽泵放氣閥則應(yīng)打開(kāi)，以防止機(jī)械泵油返流進(jìn)入粗抽管道。在擴(kuò)散泵冷卻水管的出口（而不是入口）處可裝一流量計(jì)。借助于流量計(jì)的信號(hào)，系統(tǒng)控制器就可切斷擴(kuò)散泵的電源，并關(guān)閉高真空閥和前級(jí)管道閥。在擴(kuò)散泵冷卻水管的入口處采用一個(gè)水過(guò)濾器以防積垢堵塞水管，并可免除過(guò)早的檢修。可用裝在擴(kuò)散泵泵殼外面的恒溫開(kāi)關(guān)和裝在鍋爐上的熱敏開(kāi)關(guān)來(lái)檢測(cè)泵壁和泵油的工作溫度，還可以對(duì)泵工作液的液面進(jìn)行監(jiān)測(cè)。熱偶規(guī)或皮拉尼規(guī)控制器上的設(shè)定值是在真空室出現(xiàn)漏孔時(shí)給出自動(dòng)控制器信號(hào)的，以便由它來(lái)關(guān)閉高真空閥，并在前級(jí)出現(xiàn)過(guò)高的前級(jí)壓力時(shí)斷開(kāi)擴(kuò)散泵電源。許多液氮裝置裝有低液面報(bào)警的傳感器，當(dāng)致冷劑耗盡時(shí)關(guān)閉高真空閥門(mén)。

　　由于擴(kuò)散泵沒(méi)有運(yùn)轉(zhuǎn)部件，故維修較簡(jiǎn)單。一般泵使用500h后應(yīng)當(dāng)換一次新油。換油時(shí)則同時(shí)進(jìn)行維修，維修也就是徹底清洗泵芯，泵體，清除油鍋上的結(jié)垢，用壓縮空氣吹去冷卻水管中的銹。加熱器如果是一般的裸式電爐，則用500h后就要更換一次，如果是封閉式加熱器則壽命可大大延長(zhǎng)，不必定期更換直到用壞再換。

　　擴(kuò)散泵一般采用KSl～KS3號(hào)擴(kuò)散泵油，正常使用約半年換一次油。為降低返油率可采用274～275號(hào)硅油，正常工況下，約使用2～3年換一次油。擴(kuò)散泵裝配與調(diào)整正確與否，會(huì)直接影響泵的性能。泵裝配前各零件要清洗好并保持清潔。裝配前零件必須徹底烘干，裝配時(shí)不應(yīng)用手直接摸泵芯，泵芯裝配必須正確，不得向任何一邊偏斜，裝配后要測(cè)量噴嘴與泵壁之間的間距。加油時(shí)要事先在外邊測(cè)量好油量，不要邊倒邊看深度，以保證油量符合規(guī)定。

　　裝配好要測(cè)量擴(kuò)散泵的極限真空度是否達(dá)到泵原指標(biāo)，測(cè)量方法按有關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行，達(dá)到泵原真空度指標(biāo)時(shí)才能交付使用。