擴(kuò)散泵使用高速的蒸汽直接噴射泵在喉嚨氣體分子分解成的泵出排氣底部。于1915年主辦沃爾夫?qū)�蓋德和使用汞蒸氣，它們是高真空的自由分子流中，把氣體分子運(yùn)動(dòng)，能更好地為比傳統(tǒng)的流體動(dòng)力學(xué) 擴(kuò)散的理解，政權(quán)運(yùn)作泵第一類。蓋德使用的名稱擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)是因?yàn)樗�在發(fā)現(xiàn)氣體不能擴(kuò)散對(duì)汽流為基礎(chǔ)，但將與它進(jìn)行的廢氣。但是，工作原理可能更精確地氣描述射流泵 ，由于擴(kuò)散起到了重要作用，而且在其他高真空泵。在現(xiàn)代課本，擴(kuò)散泵是歸類為動(dòng)量轉(zhuǎn)移泵。擴(kuò)散泵廣泛應(yīng)用于工業(yè)和研究應(yīng)用。大多數(shù)現(xiàn)代擴(kuò)散泵使用作為工作介質(zhì)。 塞西爾雷伯奇發(fā)現(xiàn)了1928年使用的可能性硅油硅油。

油擴(kuò)散泵

　　油擴(kuò)散泵的運(yùn)作是一個(gè)低蒸氣壓油。其目的是實(shí)現(xiàn)更高的真空（低壓）由正排量泵僅比使用是可能的。 雖然它的使用主要是有關(guān)在高真空范圍（下降到10-9毫巴），今天的擴(kuò)散泵產(chǎn)生的壓力接近10 -10毫巴適當(dāng)?shù)臅r(shí)候與現(xiàn)代流體及配件使用。使擴(kuò)散泵高，超高真空有吸引力的是它的高抽所有氣體和抽速每單位成本低，速度比其他類型的泵在同一真空范圍內(nèi)使用。擴(kuò)散泵不能直接排放到大氣中，所以前級(jí)機(jī)械泵通常用于維持約0.1毫巴出口壓力。

六英寸油擴(kuò)散泵及油擴(kuò)散泵工作原理圖

　　高速噴射產(chǎn)生的沸騰液體和指導(dǎo)大會(huì)通過(guò)噴射蒸汽。噴嘴內(nèi)，從層流的變化，以超音速和分子 。通常的戰(zhàn)斗機(jī)中使用，以加強(qiáng)抽水行動(dòng)。的擴(kuò)散泵采用外冷卻或空氣流或水線。由于蒸汽噴射冷卻的影響外的擴(kuò)散泵殼，工作液濃縮，被回收，并指示回到鍋爐。抽水氣體繼續(xù)流入的壓力在增加，泵的基礎(chǔ)，流經(jīng)擴(kuò)散泵出口在何處壓縮輔助前級(jí)機(jī)械泵和枯竭的環(huán)境壓力，進(jìn)行。

　　與渦輪分子泵和低溫泵，擴(kuò)散泵沒(méi)有移動(dòng)部件，因此相當(dāng)耐用，可靠。他們可以在壓力的作用10-10〜10-2毫巴范圍。他們只能通過(guò)驅(qū)動(dòng)對(duì)流 ，從而對(duì)能源效率非常低。

　　擴(kuò)散泵的一個(gè)主要缺點(diǎn)是進(jìn)入真空室的趨勢(shì)backstream石油。這油能污染的表面或內(nèi)部的后室與熱絲或放電接觸可能會(huì)導(dǎo)致碳和硅的存款。由于回流，油擴(kuò)散泵是不適合高度敏感分析設(shè)備或需要一個(gè)非常潔凈的真空環(huán)境中的其他應(yīng)用程序使用，但汞擴(kuò)散泵可能是在超案件的高真空室用水銀沉積。通常冷阱和擋板，以盡量減少用于回流，雖然在有些情況抽水能力的喪失這一結(jié)果。

　　一個(gè)油擴(kuò)散泵操作常見的錯(cuò)誤是在熱油接觸的氣氛。如果發(fā)生這種情況，將燃燒的石油，并予以更換。一個(gè)系統(tǒng)應(yīng)始終被冷卻到室溫接觸之前的氣氛。

蒸汽噴射泵

　　蒸汽噴射器是一種擴(kuò)散真空蒸餾及冷凍泵流行的一種干燥 。一個(gè)蒸汽噴射泵認(rèn)為，必須從蒸汽真空室中刪除。蒸汽噴射器可以有一個(gè)或多個(gè)階段，并沒(méi)有各階段之間的冷凝器英寸。

壓縮空氣噴射泵

　　其中擴(kuò)散真空泵類是多級(jí)壓縮驅(qū)動(dòng)噴射空氣。這是非常流行的應(yīng)用中使用的對(duì)象是各地和真空吸盤線遷出。