油擴散泵真空系統(tǒng)的污染物來源與消除措施

2009-11-13 張以忱 東北大學

  油擴散泵抽氣系統(tǒng)的最大缺點是油蒸汽的污染。

系統(tǒng)中污染物的主要來源如下:

  (1)擴散泵油蒸汽的返流。這是最重大的污染源。

  (2)系統(tǒng)中的零部件,在裝配時用有油的手拿。用有油污的手套拿,這樣粘染的有機分子可以造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。

  (3)前級油封機械泵油的返流。這個問題也很嚴重,當入口壓力較高時,在達到過渡區(qū)(1~10-1Pa)壓力時,機械泵的油蒸汽即可直接進入擴散泵內(nèi),對系統(tǒng)直接進行污染。很多真空工藝過程的污染來自機械泵返油。當停機械泵時如不及時向泵內(nèi)放大氣,機械泵油可直接返到擴散泵油鍋內(nèi)。當擴散泵起動時對系統(tǒng)的污染更為嚴重。

  (4)抽氣系統(tǒng)中密封材料的放氣造成的污染。特別是人造橡膠密封圈,密封油脂,潤滑油等,也同樣造成嚴重的污染。

  (5)當停泵后放大氣時,使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽,油煙等,造成對真空系統(tǒng)的污染。

消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施為:

  (1)加大擴散泵的啟動功率來縮短機械泵與擴散泵切換時的壓力過渡區(qū)。

  (2)通過改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門來避開返流危險區(qū)(切換過渡區(qū))。例如,可使一個按照預定速度開啟的高真空閥,逐漸地開啟它,保證進入擴散泵的氣體流量低于它的最大排氣量,并且又使機械泵抽速保證擴散泵前級壓力,以使擴散泵能樹立工作。這樣就能避開過渡區(qū)的出現(xiàn)。

  (3)改善操作工藝, 將擴散泵的加熱功率調(diào)至最佳功率,避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象;一般擴散泵在加熱開始和關閉過程中,返流將出現(xiàn)峰值,所以可用泵口處的高真空閥門來控制避免返流。

  (4)在擴散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來捕集返流油蒸氣。

  (5)選用優(yōu)質的擴散泵工作液。