油擴散泵抽氣系統(tǒng)的最大缺點是油蒸汽的污染。

系統(tǒng)中污染物的主要來源如下：

　　(1)擴散泵油蒸汽的返流。這是最重大的污染源。

　　(2)系統(tǒng)中的零部件，在裝配時用有油的手拿。用有油污的手套拿，這樣粘染的有機分子可以造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。

　　(3)前級油封機械泵油的返流。這個問題也很嚴重，當入口壓力較高時，在達到過渡區(qū)(1～10^-1Pa)壓力時，機械泵的油蒸汽即可直接進入擴散泵內(nèi)，對系統(tǒng)直接進行污染。很多真空工藝過程的污染來自機械泵返油。當停機械泵時如不及時向泵內(nèi)放大氣，機械泵油可直接返到擴散泵油鍋內(nèi)。當擴散泵起動時對系統(tǒng)的污染更為嚴重。

　　(4)抽氣系統(tǒng)中密封材料的放氣造成的污染。特別是人造橡膠密封圈，密封油脂，潤滑油等，也同樣造成嚴重的污染。

　　(5)當停泵后放大氣時，使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽，油煙等，造成對真空系統(tǒng)的污染。

消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施為：

　　(1)加大擴散泵的啟動功率來縮短機械泵與擴散泵切換時的壓力過渡區(qū)。

　　(2)通過改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門來避開返流危險區(qū)（切換過渡區(qū)）。例如，可使一個按照預定速度開啟的高真空閥，逐漸地開啟它，保證進入擴散泵的氣體流量低于它的最大排氣量，并且又使機械泵抽速保證擴散泵前級壓力，以使擴散泵能樹立工作。這樣就能避開過渡區(qū)的出現(xiàn)。

　　(3)改善操作工藝， 將擴散泵的加熱功率調(diào)至最佳功率，避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象；一般擴散泵在加熱開始和關閉過程中，返流將出現(xiàn)峰值，所以可用泵口處的高真空閥門來控制避免返流。

　　(4)在擴散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來捕集返流油蒸氣。

　　(5)選用優(yōu)質的擴散泵工作液。