目前在半導(dǎo)體行業(yè)中，包括TFT-LCD、OLED、LOW-E、PVD、CVD、ITO、FPD等工藝，在對(duì)真空腔室動(dòng)力給進(jìn)中的動(dòng)密封技術(shù)廣泛采用是磁流體密封技術(shù)，俗稱“零”泄漏。磁流體能有效隔絕外界雜質(zhì)對(duì)真空腔室污染和真空腔室內(nèi)氣體的泄漏，對(duì)而減少不必要的停機(jī)時(shí)間。

　　磁性流體：也叫磁流體，磁液。磁性流體是一種新型的功能材料，是以液體形式存在的導(dǎo)磁材料。

　　它是由直徑為10納米量級(jí)的導(dǎo)磁固體顆粒均勻分散到基載液中而形成的一種穩(wěn)定的液體，既具有液體的流動(dòng)性, 又具有良好的導(dǎo)磁性。根據(jù)基載液的不同可分為酯基類(lèi)、水基類(lèi)、硅油基類(lèi)等。

　　磁流體密封原理：磁流體密封技術(shù)就是利用磁流體對(duì)磁場(chǎng)的良好響應(yīng)特性而實(shí)現(xiàn)的。當(dāng)把磁流體注入到由高性能的永久磁鐵，導(dǎo)磁良好的極靴與旋轉(zhuǎn)軸所構(gòu)成的磁回路間隙中，在磁場(chǎng)的作用下，磁流體在間隙中形成數(shù)個(gè)液態(tài)的“O”形圈，從而起到密封作用。

磁流體密封示意圖

磁流體密封裝置剖面示意圖

磁流體的特性：

　　1．長(zhǎng)壽命：液態(tài)“Ο”型圈密封，無(wú)固體接觸磨損。密封件壽命取決于軸承的使用壽命，可長(zhǎng)達(dá)十年安全運(yùn)行壽命，期間不需要維護(hù)。

　　2．最佳的扭矩傳遞：磁流體密封屬“液－固”接觸式密封，無(wú)磨損。它不存在傳統(tǒng)密封中，密封件與旋轉(zhuǎn)軸固－固兩相界面之間的磨損泄漏問(wèn)題，100%動(dòng)力給進(jìn)傳輸，無(wú)轉(zhuǎn)矩?fù)p失。

　　3．“零”泄漏：即使采用氦質(zhì)譜檢測(cè)儀檢測(cè)，在泄漏率為1×10^-12 Pa·m³/s也很難檢測(cè)。

　　4．高真空度：真空度能保持1×10^-6 Pa。

　　5．適應(yīng)不同轉(zhuǎn)速工況：適應(yīng)不同轉(zhuǎn)速的場(chǎng)合，在高轉(zhuǎn)速下密封性依然穩(wěn)定。

　　6．耐壓差性能好：每一級(jí)液態(tài)“O”形圈耐壓差為0.025MPa左右，總體耐壓隨液態(tài)“O”形圈的級(jí)數(shù)增加而增加。

　　磁流體動(dòng)密封技術(shù)是目前被世界各國(guó)廣泛公認(rèn)的“零泄漏”動(dòng)密封先進(jìn)技術(shù)。