�、� 在各種真空鍍膜設(shè)備上用來(lái)傳遞鍍膜工件及保證膜厚均勻，而要求旋轉(zhuǎn)的工件架、軸的動(dòng)力輸入等許多方面都采用磁力傳動(dòng)密封裝置，不但消除了O 形密封圈易泄漏、磨損和污染真空等弊病，而且也提高了鍍膜層的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

　�、� 我國(guó)的重離子加速器上采用了磁力傳動(dòng)裝置，在真空室中傳送試驗(yàn)靶，安全可靠，保證了試驗(yàn)效果，提高了試驗(yàn)質(zhì)量和效率。

　　③ 在一些高真空及超高真空的設(shè)備上廣泛采用了磁力傳動(dòng)技術(shù)。比如航天技術(shù)地面模擬試驗(yàn)的各種真空容器與裝置上所采用的磁力傳動(dòng)裝置，操作簡(jiǎn)單可靠，而且也保證了高真空或超高真空狀態(tài)下的各種環(huán)境試驗(yàn)。

　�、� 在一些真空工藝設(shè)備上采用了磁力傳動(dòng)裝置。作為機(jī)械手在真空室中傳遞工件、旋轉(zhuǎn)工件等。如真空熔煉爐中用磁力驅(qū)動(dòng)裝置取代了送料機(jī)構(gòu)的取料機(jī)構(gòu);真空熱處理爐中用磁力傳動(dòng)裝置取代了送樣機(jī)構(gòu)和取樣機(jī)構(gòu);真空焊接爐中用磁力傳動(dòng)裝置準(zhǔn)確地傳送構(gòu)件和取送焊接件等。

　�、� 一些專(zhuān)用的真空試驗(yàn)設(shè)備中也均采用了磁力傳動(dòng)技術(shù)。比如航空、航天技術(shù)設(shè)備中用精密軸承、微型軸承在高真空狀態(tài)下的壽命試驗(yàn);一些重要儀器、儀表在高真空狀態(tài)下的測(cè)試實(shí)驗(yàn)等。這類(lèi)專(zhuān)用真空設(shè)備要求連續(xù)運(yùn)動(dòng)的時(shí)間長(zhǎng)，保證高真空狀態(tài)下工作。因此傳送機(jī)構(gòu)及機(jī)械手均采用了磁力傳動(dòng)裝置，運(yùn)動(dòng)安全可靠，滿足了技術(shù)要求。

　　⑥ 磁力傳動(dòng)裝置在一些特殊真空設(shè)備上的應(yīng)用。我國(guó)第一臺(tái)分子束外延設(shè)備上采用了旋轉(zhuǎn)與直線運(yùn)動(dòng)的復(fù)合運(yùn)動(dòng)式磁力傳動(dòng)裝置。作為機(jī)械手在真空室中傳送樣品，操作簡(jiǎn)便、結(jié)構(gòu)合理、緊湊、運(yùn)動(dòng)安全可靠。設(shè)備采用真空無(wú)油機(jī)組，極限真空度達(dá)到6×10-7 Pa 工作真空度達(dá)到5×10-6 Pa 樣品可進(jìn)行150℃烘烤。我國(guó)生產(chǎn)的獨(dú)立束源，快速換片型分子束外延設(shè)備上采用了旋轉(zhuǎn)與直線運(yùn)動(dòng)的復(fù)合運(yùn)動(dòng)磁力驅(qū)動(dòng)裝置。磁力傳動(dòng)裝置與全金屬直通閥，組成一套超高真空室，同樣從高真空室中取出樣品或工件，并且在運(yùn)作的過(guò)程中完成裝卡工件的動(dòng)作。整個(gè)過(guò)程中運(yùn)行安全可靠，提高工作效率近10 倍。工作室的真空度為10-6 Pa~10-7 Pa。真空室內(nèi)樣品的烘烤溫度為150℃。

　　這里僅舉幾個(gè)應(yīng)用實(shí)例，實(shí)際上無(wú)泄漏磁力傳動(dòng)真空動(dòng)密封的應(yīng)用前景還會(huì)更加廣闊。

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