非永久密封要求簡單操作就能達(dá)到封止真空的目的。法蘭密封是代表性的非永久密封方式，本節(jié)先介紹幾種密封墊圈。

1、彈性密封墊圈

　　彈性體是指像橡膠一樣，有外壓會(huì)變形，解除外壓后就復(fù)原的物體。以彈性材料作為密封墊圈時(shí)，利用其復(fù)原力，在法蘭的密封面產(chǎn)生面壓而封止真空。密封墊圈通常使用合成O形橡膠圈。密封墊圈被擠壓時(shí)有一定的變形，變形程度根據(jù)法蘭構(gòu)造而定(圖1)。

圖1　彈性密封墊圈的結(jié)構(gòu)

　　也有全金屬彈性密封墊圈，主要有鋁制C形圓環(huán)(中間有彈簧)和不銹鋼制的中空?qǐng)A環(huán)等。

2、非彈性密封墊圈

　　使用刀口法蘭(CF法蘭)和軟金屬(無氧銅或銀)墊圈密封是全金屬可烘烤的超高真空密封方式，這種密封方式和使用的法蘭成為國際上超高真空密封的標(biāo)準(zhǔn)。

　　超高真空法蘭將于本站后面章節(jié)做詳細(xì)介紹，其密封最為常用的是CF系列無氧銅密封墊圈。無氧銅密封墊圈材質(zhì)中銅的質(zhì)量分?jǐn)?shù)大于99.97%，硬度為60～80HV。

圖2　CF法蘭和無氧銅墊圈的密封

　　使用CF系列無氧銅墊圈密封超高真空法蘭時(shí)，墊圈受3個(gè)方向的力，它們分別是兩邊法蘭刀口的切入和外周的擠壓(圖2(b))。無氧銅沒有彈性，因此，合格的無氧銅墊圈在使用后通常不會(huì)自行脫落，出現(xiàn)粘在法蘭上的現(xiàn)象，這正是外周擠壓的結(jié)果。用過一次的無氧銅墊圈上會(huì)有刀口法蘭壓痕，不鼓勵(lì)重復(fù)使用，因?yàn)槿绻�出現(xiàn)漏氣則會(huì)浪費(fèi)很多時(shí)間。

　　除了CF系列無氧銅墊圈之外，還有一種IPD系列無氧銅墊圈用于密封CF法蘭。IPD墊圈的內(nèi)徑稍大于CF法蘭的刀口直徑，因此不被CF法蘭的刀口切入。IPD墊圈內(nèi)壁和CF法蘭的刀口外斜面緊密接觸，來實(shí)現(xiàn)真空密封(圖2(c))，特別適合刀口有傷的CF法蘭密封。CF和IPD墊圈的尺寸參照表1。更多的尺寸可以參考真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)-GB/T 6070-2007 真空技術(shù) 法蘭尺寸。

表1 無氧銅密封墊圈的代表尺寸